8月7日消息，湖北菲利華石英玻璃股份有限公司（以下簡稱“菲利華”）研發出G8代光掩膜基板，打破國外企業的壟斷，為國內航空航天、半導體、平板顯示、消費電子、太陽能等行業的可持續發展夯實了基礎。

早在1979年，菲利華的前身沙市石英玻璃廠就根據當時建材部軍工辦下達的任務，在全國首家試制成功了高純度石英纖維和硅油型石英纖維。

幾十年來，菲利華始終專注產品和技術的自主創新，爭取在行業中的領先地位。

“這一塊1.4*1.2米的合成石英玻璃板是我們公司自主研發、國內唯一具備批產能力的G8代光掩膜基板，其主要應用于平板顯示器的生產。”湖北菲利華石英玻璃股份有限公司技術中心副主任歐陽葆華介紹，此前，我國沒有光掩膜基板的生產技術，市場被日韓壟斷，后來菲利華逐步掌握了最先進的8代基板生產技術，國際市場8代基板價格也就隨之下降。

以打造新型高科技企業為目標，菲利華形成了技術中心、制造部門和生產班組三級自主創新體系。依托國家計劃項目，吸引國內石英界技術精英，培育企業技術人才，認真實踐自主創新的思路。

“在剛接手一項國家重點型號武器纖維織物項目時，我也有擔憂和顧慮，因為這個項目已耗時兩年多，進展卻并不順利。”菲利華纖維產品事業部研發工程師孫緋博士說，為了克服這一難題，她與工藝、操作人員面對面交流探討，開展技術培訓指導，攻克了多項關鍵技術難題，最終僅用三個多月時間就完成了配套研制任務。

1999年以來，菲利華承擔了大量的軍品配套研制項目，并得到了國防科工委在條件建設上的大力支持。現大部分項目已通過驗收，項目交付試用后獲得廣泛好評。石英纖維產品品種由最初的3個，增加到9個，在一些關鍵的性能指標上，已達到國際先進水平。

菲利華董事長吳學民

什么是光掩膜？

在半導體制造的整個流程中，其中一部分就是從版圖到晶圓（wafer）制造中間的一個過程，即光掩膜或稱光罩(mask)制造。這一部分是流程銜接的關鍵部分，是流程中造價最高的一部分，也是限制最小線寬的瓶頸之一。光掩膜除了應用于芯片制造外，還廣泛的應用與像LCD，PCB等方面，是核心材料之一，一直以來都被國外企業所壟斷。

常見的光掩膜的種類有四種，鉻版(chrome)、干版，凸版、液體凸版。主要分兩個組成部分，基板和不透光材料。基板通常是高純度，低反射率，低熱膨脹系數的石英玻璃。鉻版的不透光層是通過濺射的方法鍍在玻璃下方厚約0.1um的鉻層。鉻的硬度比玻璃略小，雖不易受損但有可能被玻璃所傷害。應用于芯片制造的光掩膜為高敏感度的鉻版。干版涂附的乳膠，硬度小且易吸附灰塵，不過干版還有包膜和超微顆粒干版，其中后者可以應用于芯片制造。

在刻畫時，采用步進機刻畫(stepper)，其中有電子束和激光之分，激光束直接在涂有鉻層的4-9" 玻璃板上刻畫，邊緣起點5mm，與電子束相比，其弧形更逼真，線寬與間距更小。光掩膜有掩膜原版(reticle mask，也有稱為中間掩膜，reticle作為單位譯為光柵)，用步進機重復將比例縮小到master maks上，應用到實際曝光中的為工作掩膜(working mask)，工作掩膜由master mask復制過來。

菲利華技術中心副主任 歐陽葆華

菲利華公司作為國內領先、國際知名的石英玻璃材料及石英玻璃纖維供應商的民營企業投身國防科技工業建設，用軍工的要求完善制度，用軍工的標準落實內控，用軍工的準則嚴把質量，把軍工要求融入到過程的每一個細節、每一組產品，保證能力得到極大提升，產品和服務質量長期穩定。

軍工研發帶來的核心競爭力，為企業占領了市場的制高點。除了在石英纖維這樣的軍工配套產品上獨步全國外，菲利華在民品市場上也領跑同行。菲利華產品應用領域從傳統的化工、光源行業，拓展到太陽能、半導體、電子、通訊行業及航空、航天領域。