S54.T1S/K-C系列高精度中空式二維壓電偏擺臺
S54.T1S/K-C系列壓電偏擺臺是一款高精度壓電偏擺臺，可產生θx、θy二維偏轉運動。整體采用無摩擦柔性鉸鏈結構設計，具有響應速度快、定位精度高的特點。此款壓電偏擺臺配合閉環傳感器可實現0.011%F.S.的重復定位精度，適用于各種高精度應用。它的中心具有大型通孔設計，透光孔徑為110×80mm^2，也適用于透射光應用等。產品外觀如下圖所示。
產品特點
01θx、θy二維偏擺
02閉環重復定位精度高
03閉環快速階躍
負載300g運動0.4mrad的階躍時間可達25ms
04中心大通孔
產品應用
注：圖片來源于網絡
技術參數
| 型號 | S54.T1S/K-C | |
| 運動自由度 | θx，θy | |
| 驅動控制 | 3路驅動，2路傳感/3路驅動 | |
|
標稱偏擺角度 （0~120V） |
±0.65mrad | |
|
Max.偏擺角度 （0~150V） |
±0.8mrad | |
| 傳感器類型 | SGS/- | |
| 通孔尺寸 | 110mm×80mm | |
| 閉/開環偏擺分辨率 | 0.1μrad/0.03μrad | |
| 閉環線性度 |
θx0.01%F.S.， θy0.009%F.S./- |
|
| 閉環重復定位精度 |
θx0.011%F.S.， θy0.023%F.S./- |
|
| 空載諧振頻率 | 445Hz/490Hz | |
| 帶載諧振頻率@300g | 250Hz/300Hz | |
| 階躍時間 | 25ms@0.4mrad，300g/5ms | |
| 承載能力 | 水平方向 | 300g |
| 靜電容量 | 3.6μF/軸 | |
| 材質 | 不銹鋼、鋁合金 | |
| 重量 | 560g（含線） |
配套控制器
E70系列壓電控制器是一款小體積、大功率、低功耗、高帶寬、低紋波噪聲的三通道壓電陶瓷控制器。它采用DC24V供電，輸出電壓0~120V/150V可選，帶寬可達10kHz，優化傳感伺服模塊提高了PI調節與控制的精準度與穩定性，可通過RS-232/RS-422、USB或網口進行數字通信，同時上位機軟件支持二次開發，方便快捷。
審核編輯 黃宇
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