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eXcelon ?工藝介紹

jf_64961214 ? 來源:jf_64961214 ? 作者:jf_64961214 ? 2024-10-24 06:27 ? 次閱讀

eXcelon ? 和eXcelon ? 3 技術(shù)是一種傳感器工藝,可從根本上提高背照式CCD 和EMCCD 探測(cè)器在寬光譜范圍內(nèi)的靈敏度。這兩種技術(shù)都顯著減少了標(biāo)準(zhǔn)具效應(yīng)(由設(shè)備背面薄化硅中的相長(zhǎng)和相消性推理引起的條紋出現(xiàn)問題),同時(shí)在 750 – 1100 nm 范圍 (NIR) 范圍內(nèi)成像。

wKgZomcZeDWAb7QGAAC9akMXq0c381.png

主要特點(diǎn)

增強(qiáng)靈敏度

wKgaomcZeDaAHxWjAACY22ZJe5M747.png

eXcelon 技術(shù)比標(biāo)準(zhǔn)薄型背照式 CCD 在更寬的波長(zhǎng)范圍內(nèi)提高了靈敏度。通過提高 500 nm 以下和 625 nm 以上的靈敏度,eXcelon 能夠獲得 15-20% 的最大量子效率提升。

減少標(biāo)準(zhǔn)具和暗電流

wKgZomcZeDaAFG1EAAGA8yoDdN0160.jpg

eXcelon 技術(shù)減少了 NIR 波長(zhǎng)范圍內(nèi)薄型背照式 CCD 傳感器上存在的標(biāo)準(zhǔn)具。

此外,采用 eXcelon 技術(shù)的薄型背照式 CCD 傳感器能夠提供比深耗盡型背照式傳感器更低水平的暗電流,同時(shí)在較低波長(zhǎng)下保持高量子效率。

eXcelon3

wKgaomcZeDaAPp3WAAEGZaY8gSk253.png

eXcelon3 為 EMCCD 探測(cè)器開發(fā)。傳統(tǒng)的背照式 EMCCD 具有單光子靈敏度,但它們?cè)谧贤夂徒?a href="http://m.1cnz.cn/tags/紅外/" target="_blank">紅外區(qū)域缺乏高 QE,并且在近紅外區(qū)域存在標(biāo)準(zhǔn)具效應(yīng)。

eXcelon3 克服了這兩個(gè)限制,將 UV 區(qū)域的 QE 提高了 3 倍,將 NIR 區(qū)域的 QE 提高了 1.3 倍。

它還可以將標(biāo)準(zhǔn)具降低高達(dá) 70%,峰峰值條紋幅度低于 10%。

審核編輯 黃宇

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