9月10日，在亞洲最高規(guī)格的傳感器與物聯(lián)網(wǎng)行業(yè)盛會(huì)——2017中國(guó)（上海）國(guó)際傳感器技術(shù)與應(yīng)用展覽會(huì)（簡(jiǎn)稱“SENSOR CHINA”）的開幕式暨2017全球傳感器與物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)峰會(huì)上，多位院士及眾多業(yè)界領(lǐng)袖濟(jì)濟(jì)一堂，中國(guó)科協(xié)副主席、中國(guó)科學(xué)院院士王曦，工信部原副部長(zhǎng)楊學(xué)山，國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金總經(jīng)理、中國(guó)高端芯片聯(lián)盟理事長(zhǎng)丁文武，工信部電子司副司長(zhǎng)吳勝武，上海科學(xué)技術(shù)委員會(huì)主任壽子琪，上海市嘉定區(qū)委書記馬春雷共同啟動(dòng)上海微技術(shù)工業(yè)研究院“超越摩爾”研發(fā)中試線運(yùn)營(yíng)。自此，由上海微技術(shù)工業(yè)研究院（以下簡(jiǎn)稱“工研院”）構(gòu)建的國(guó)內(nèi)首條，全球領(lǐng)先，兼容CMOS的8英寸研發(fā)中試線正式向業(yè)界發(fā)聲，在打造中國(guó)完整的“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)鏈基礎(chǔ)上，旨在進(jìn)一步推動(dòng)中國(guó)“超越摩爾”技術(shù)和物聯(lián)網(wǎng)創(chuàng)新應(yīng)用快速發(fā)展，引領(lǐng)全球。

圖1 工研院“超越摩爾” 8英寸研發(fā)中試線剪彩儀式完善國(guó)內(nèi)超越摩爾產(chǎn)業(yè)生態(tài)鏈布局，8英寸研發(fā)中試線助攻創(chuàng)新研發(fā)當(dāng)前，以移動(dòng)互聯(lián)網(wǎng)、物聯(lián)網(wǎng)、云計(jì)算、大數(shù)據(jù)、人工智能等為代表的信息技術(shù)正加速創(chuàng)新、融合和普及應(yīng)用，一個(gè)萬(wàn)物互聯(lián)智能化時(shí)代正在到來。其中，超越摩爾技術(shù)以傳感器為核心，結(jié)合射頻、功率、微能源等技術(shù)，是未來實(shí)現(xiàn)萬(wàn)物互聯(lián)的基礎(chǔ)性、決定性核心技術(shù)之一。事實(shí)上，傳感器的市場(chǎng)應(yīng)用已呈現(xiàn)爆發(fā)式增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)，產(chǎn)品種類豐富，多達(dá)上千，此前美國(guó)舉行的MEMS Bryzek預(yù)測(cè)MEMS芯片市場(chǎng)將在2023年達(dá)到1兆片（trillion）的市場(chǎng)規(guī)模，同時(shí)，中國(guó)智能傳感器市場(chǎng)也預(yù)計(jì)將于2019年達(dá)到960億元。然而，縱觀我國(guó)超越摩爾領(lǐng)域現(xiàn)狀，雖經(jīng)歷多年的理論研究與技術(shù)驗(yàn)證，積累了大量寶貴的知識(shí)和經(jīng)驗(yàn)，但在真正放進(jìn)產(chǎn)品進(jìn)行實(shí)際應(yīng)用時(shí)往往存在與生產(chǎn)平臺(tái)脫節(jié)的情況。這都是源于MEMS產(chǎn)品的研發(fā)所涉及的技術(shù)鏈條較長(zhǎng)，且其“非標(biāo)”特性使得它的研發(fā)與創(chuàng)新需要和產(chǎn)線有一段比較長(zhǎng)的磨合期，不同于CMOS的標(biāo)準(zhǔn)工藝，可以說對(duì)產(chǎn)線“嚴(yán)重依賴”。而中試就是必經(jīng)階段，是目前國(guó)內(nèi)傳感器廠家共同面臨的挑戰(zhàn)，據(jù)統(tǒng)計(jì)，科技成果經(jīng)過中試，產(chǎn)業(yè)化成功率可達(dá)80%，未經(jīng)中試成功率僅有30%。基于此背景，工研院立足擁有國(guó)內(nèi)一流集成電路研發(fā)和產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)的上海，志在實(shí)施超越摩爾計(jì)劃，爭(zhēng)取在這一領(lǐng)域與國(guó)際領(lǐng)先水平并行。落地上海嘉定工業(yè)區(qū)，近5000平方米的高等級(jí)微納加工超凈廠房?jī)?nèi)，工研院與國(guó)際領(lǐng)先的晶圓廠密切合作構(gòu)建的8英寸“超越摩爾”研發(fā)中試線，不僅實(shí)現(xiàn)了從研發(fā)到量產(chǎn)的無縫銜接，更豐富完整了國(guó)內(nèi)的超越摩爾生態(tài)鏈，是對(duì)標(biāo)國(guó)際產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)的關(guān)鍵一環(huán)。

圖2 SITRI 8英寸研發(fā)中試線工藝能力布局圖目前，在“超越摩爾”領(lǐng)域，相比于業(yè)界普遍使用的6英寸產(chǎn)線，貫通從研發(fā)到量產(chǎn)全程服務(wù)的SITRI 8英寸線是公認(rèn)的領(lǐng)先技術(shù)。據(jù)悉，8英寸研發(fā)中試線將專注于“超越摩爾”傳感器產(chǎn)品技術(shù)的開發(fā)，可以全面開展表面、體、3D微納加工以及新工藝、新器件、新系統(tǒng)的研發(fā)，并根據(jù)“超越摩爾”產(chǎn)品和技術(shù)特點(diǎn)部署了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁傳感、功率及生物等相關(guān)工藝和量測(cè)設(shè)備。作為國(guó)內(nèi)第一條先進(jìn)8英寸研發(fā)中試線，SITRI的8英寸研發(fā)中試線不僅可承擔(dān)產(chǎn)品研發(fā)、小批量生產(chǎn)、技術(shù)培訓(xùn)、設(shè)備驗(yàn)證等服務(wù)，有助于提升研發(fā)的成功率，更將助力實(shí)現(xiàn) “超越摩爾”產(chǎn)品和技術(shù)從研發(fā)到量產(chǎn)的無縫銜接。工研院一體化功能平臺(tái)將加速“超越摩爾”領(lǐng)域的創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程

圖3 SITRI致力于打造“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新生態(tài)以全球領(lǐng)先的“超越摩爾”8英寸研發(fā)中試線為支點(diǎn)，工研院試圖打造集研發(fā)、工程、市場(chǎng)、孵化的一體化功能平臺(tái)，為創(chuàng)新企業(yè)及合作伙伴提供全方位的服務(wù)和解決方案： - 在研發(fā)創(chuàng)新環(huán)節(jié)：工研院建立了全國(guó)首個(gè)成熟、完善的MEMS-IC軟件設(shè)計(jì)平臺(tái)、開發(fā)MEMS-ICIP核庫(kù)；近5000平方米的先進(jìn)“超越摩爾”研發(fā)8英寸研發(fā)中試線更將專注于新工藝、新材料及新器件的開發(fā)與整合；同時(shí)提供集成電路設(shè)計(jì)、系統(tǒng)集成及以及完整物聯(lián)網(wǎng)系統(tǒng)解決設(shè)計(jì)方案；- 在中試制造環(huán)節(jié)：工研院建立全球領(lǐng)先8英寸MtM研發(fā)中試線、世界先進(jìn)的工程測(cè)試分析平臺(tái)、MEMS/ASIC的晶圓測(cè)試、封裝測(cè)試等測(cè)試能力；提供完整的專利及器件分析、研究服務(wù)，并提供知識(shí)產(chǎn)權(quán)許可、保護(hù)及談判方面的專家級(jí)指導(dǎo)；- 在產(chǎn)業(yè)整合領(lǐng)域：工研院將進(jìn)一步推動(dòng)例如汽車電子、智慧醫(yī)療、智能安防、智能家居、智能消費(fèi)類產(chǎn)品等細(xì)分物聯(lián)網(wǎng)市場(chǎng)與傳感產(chǎn)業(yè)進(jìn)行垂直產(chǎn)業(yè)鏈與橫向服務(wù)市場(chǎng)的整合，推進(jìn)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展；發(fā)起并參與例如中國(guó)傳感器與物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟，“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟等產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟，更將推動(dòng) “超越摩爾”及物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵標(biāo)準(zhǔn)方面制定，并通過SENSOR CHINA等展會(huì)與系列活動(dòng)提供全球范圍的市場(chǎng)支持；- 構(gòu)建全球創(chuàng)新網(wǎng)絡(luò)：工研院在美國(guó)硅谷、法國(guó)格勒諾布爾、***新竹等地建立分支機(jī)構(gòu)，在全球范圍內(nèi)布局創(chuàng)新網(wǎng)絡(luò)；- 投資基金與孵化加速器：由工研院、國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金以及其他戰(zhàn)略投資人共同發(fā)起成立規(guī)模為50億元的“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)基金，為創(chuàng)新企業(yè)提供關(guān)鍵的早期支持；并配套全球化創(chuàng)新網(wǎng)絡(luò)提供軟硬件結(jié)合的孵化服務(wù)。總之，以8英寸線強(qiáng)勁的技術(shù)支持為依托，以投資基金和孵化加速器為支撐，工研院致力于“超越摩爾”領(lǐng)域和物聯(lián)網(wǎng)行業(yè)初創(chuàng)團(tuán)隊(duì)的投資與孵化，讓產(chǎn)業(yè)資源和資金優(yōu)化配置，加快技術(shù)研發(fā)和企業(yè)孵化，在全球范圍內(nèi)布局創(chuàng)新網(wǎng)絡(luò)，真正營(yíng)造“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新生態(tài)。關(guān)于SITRI：上海微技術(shù)工業(yè)研究院致力于“超越摩爾”技術(shù)和物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用的創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)化。作為全球性的協(xié)同創(chuàng)新中心，上海微技術(shù)工研院集研發(fā)、工程、孵化于一體，為創(chuàng)新企業(yè)及合作伙伴提供全方位的服務(wù)和解決方案。目前，上海微技術(shù)工研院已和國(guó)內(nèi)外眾多的產(chǎn)、學(xué)、研組織建立了緊密的合作關(guān)系，實(shí)現(xiàn)創(chuàng)新成果的高效率產(chǎn)業(yè)化，加速“超越摩爾”技術(shù)和物聯(lián)網(wǎng)的生態(tài)系統(tǒng)建立。