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XRD在材料分析中的應(yīng)用

半導(dǎo)體封裝工程師之家 ? 來源:半導(dǎo)體封裝工程師之家 ? 作者:半導(dǎo)體封裝工程師 ? 2024-08-12 18:13 ? 次閱讀

關(guān)于X射線衍射分析(XRD)

定義:

X射線衍射分析(X-ray diffraction,簡(jiǎn)稱XRD),是利用晶體形成的X射線衍射,對(duì)物質(zhì)進(jìn)行內(nèi)部原子在空間分布狀況的結(jié)構(gòu)分析方法。

分析原理

當(dāng)一束X射線入射到晶體時(shí),首先被原子(電子)所散射,每個(gè)原子都是一個(gè)新的輻射源,向空間輻射出與入射波同頻率的電磁波。由于晶體是由原子、分子或離子按一定規(guī)律排列成的晶面組成,這些按周期平行排列的晶面的間距與入射X射線波長(zhǎng)有相同的數(shù)量級(jí),故由不同晶面散射的X射線相互干涉,并在符合布拉格方程的空間方向上產(chǎn)生強(qiáng)X射線衍射。

布拉格方程

2dsinθ=nλ,n=1,2…

其中:d為晶面間距,θ為入射X射線與相應(yīng)晶面的夾角,λ為X射線的波長(zhǎng),n為衍射級(jí)數(shù),其含義是:只有照射到相鄰兩晶面的光程差是X射線波長(zhǎng)的n倍時(shí)才產(chǎn)生衍射。

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物相分析

每一種晶體都有它自己的晶面間距d,而且其中原子按照一定的方式排布著,這反映到衍射圖上各種晶體的譜線有它自己特定的位置。數(shù)目和強(qiáng)度I。因此,只需將未知物中的衍射圖中各譜線測(cè)定的角度和強(qiáng)度和已知樣品的譜線進(jìn)行比較就可以達(dá)到分析目的。

通過對(duì)材料進(jìn)行X射線衍射,分析其衍射圖譜,獲得獲得材料的成分、材料內(nèi)部原子或分子的結(jié)構(gòu)或形態(tài)等信息。

測(cè)定晶粒度

XRD測(cè)定晶粒度是基于衍射線的寬度與材料晶粒大小有關(guān)這一現(xiàn)象。對(duì)于TiO2納米粉體,其主要衍射峰2θ為21.5°。當(dāng)采用銅靶作為衍射源,波長(zhǎng)為0.154nm,衍射角的2θ為25.30°,測(cè)量獲得的半高寬為0.375°,一般Scherrer常數(shù)取0.89.根據(jù)Scherrer公式,可以計(jì)算獲得晶粒的尺寸。

此外,根據(jù)晶粒大小,還可以計(jì)算納米粉體的比表面積。

小角X射線衍射

在納米多層膜材料中,兩薄膜層材料反復(fù)重疊,形成調(diào)制界面。當(dāng)X射線入射時(shí),周期良好的調(diào)制界面會(huì)與平行薄膜表面的晶面一樣,在滿足Bragg條件時(shí),產(chǎn)生相干銜射,形成明銳的衍射峰。

由于多層膜的調(diào)制周期比金屬和化合物的最大晶面間距大得多,所以只有小周期多層膜調(diào)制界面產(chǎn)生的XRD衍射峰可以再小角度衍射時(shí)觀察到,而大周期多層膜調(diào)制界面XRD衍射峰則因其衍射角度更小而無法進(jìn)行觀測(cè)。

因此,對(duì)制備良好的小周期納米多層膜可以用小角度XRD方法測(cè)定其調(diào)幅周期。

薄膜厚度和界面結(jié)構(gòu)的測(cè)定

隨著納米材料的高速發(fā)展,納米薄膜的研究也變得越來越重要。利用XRD研究薄膜的厚度以及界面結(jié)構(gòu)也是XRD發(fā)展的一個(gè)重要方向。通過二維XRD衍射還可以獲得物相的縱向深度剖析結(jié)果,也可以獲得界面物相分布結(jié)果。

物質(zhì)狀態(tài)的鑒別

不同的物質(zhì)狀態(tài)對(duì)X射線的衍射作用是不同的,因此可以利用X射線譜來區(qū)別晶態(tài)和非晶態(tài)。一般非晶態(tài)物質(zhì)的XRD譜為一條直線,平時(shí)所遇到的在低2θ角出現(xiàn)的漫散型峰的XRD一般是由液體型固體和氣體型固體所構(gòu)成。


晶體物質(zhì)又可以分為微晶和晶態(tài),微晶具有晶體的特征,但由于晶粒小會(huì)產(chǎn)生衍射峰的寬化彌散,而結(jié)晶好的晶態(tài)物質(zhì)會(huì)產(chǎn)生尖銳的衍射峰。

例1

單一物質(zhì)的定性

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硫酸鈉純品的XRD測(cè)試

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結(jié)論

通過XRD可以對(duì)單一物質(zhì)進(jìn)行定性,所匹配結(jié)果為七水硫酸鎂。

例2

混合樣的定性

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結(jié)論

通過XRD可以對(duì)混合物質(zhì)進(jìn)行定性,所匹配結(jié)果為二氧化鈦、硫酸鋇。

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結(jié)論

某膠粘劑灰分的XRD測(cè)試,膠粘劑中的填料為碳酸鈣、碳酸鎂、硅酸鹽。

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例3

礦渣粉玻璃體含的測(cè)定方法

通過測(cè)量?;郀t礦渣微粉X射線衍射圖中玻璃體部分的面積與底線上面積之比得到玻璃體含量。

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參考標(biāo)準(zhǔn):GB/T 18046-2017

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序號(hào) 檢測(cè)項(xiàng)目 單位 檢測(cè)結(jié)果
1 玻璃體含量 % 97.80
備注 XRD測(cè)試儀器:日本RIGAKU XRD

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