濕電子化學品屬于電子化學品領域的一個分支,是微電子、光電子濕法工藝制程(主要包括濕法蝕刻、清洗、顯影、互聯等)中使用的各種液體化工材料,主體成分純度大于99.99%,雜質顆粒粒徑低于 0.5μm,金屬雜質含量低于 ppm 級的化學試劑,其純度和潔凈度對電子元器件的成品率、電性能和可靠性有十分重要的影響。
半導體制造用濕電子化學品用量雖小,但生產技術要求最高,產品純度、雜質含量等要求也是最高。目前半導體濕電子化學品市場主要由歐美及日本頂尖化工企業如巴斯夫、默克、霍尼韋爾、三菱化學、住友化學、京都化工等所占據。國內生產濕電子化學品的企業中產品達到國際標準且具有一定生產量的企業有30多家,但整體市場份額較小。
地區 | 企業 | 企業情況 |
歐美 | BASF | 德國BASF為半導體產業和顯示面板行業生產提供電子化學品產品,是電子化學品行業的領先供應商 |
霍尼韋爾 | 美國霍尼韋爾能夠提供氫氟酸、氫氧化銨、過氧化氫和鹽酸等高純度濕電子化學品 | |
默克 | 德國默克能夠為晶圓加工領域提供高純濕電子化學品解決方案 | |
英特格 | 美國英特格是半導體和其他高科技行業的先進材料和工藝解決方案的供應商 | |
日本 | 關東化學 | 日本關東化學主要從事半導體用酸堿類超凈高純試劑的生產、研發 |
三菱化學 | 日本三菱化學主要生產高純濕電子化學品,如硫酸、硝酸、鹽酸、草酸、雙氧水、氨水 | |
住友化學 | 日本住友化學主要從事半導體、顯示面板等領域超凈高純試劑的生產、研發 | |
Stella | 日本Stella主要從事半導體及顯示面板用高純氫氟酸生產 | |
中國臺灣地區 | 東應化 | 臺灣東應化主要生產半導體、TFT-LCD用剝離液、顯影液等產品 |
聯仕 | 臺灣聯仕擁有3-4萬噸濕電子化學品年產能,在我國半導體應用領域中有一定市場份額 | |
韓國 | 東友 | 韓國東友、韓國東進兩廠家主要生產顯示面板加工用的濕電子化學品,在我國有一定規模的市場份額 |
東進 | / | |
Soul-brain | 韓國Soul-brain是大型氫氟酸生產廠商 | |
中國大陸 | 江化微 | 江化微主營業務為超凈高純試劑、光刻膠配套試劑等濕電子化學品的研發、生產和銷售。主要產品為氫氟酸、剝離液等 |
中巨芯 | 中巨芯是國內領先的電子化學品供應商,產品廣泛應用于集成電路、顯示面板以及光伏等領域的清洗、蝕刻、成膜等制造工藝環節 | |
晶瑞電材 | 晶瑞電材生產的主要品種包括氫氟酸、雙氧水、氨水、鹽酸、硫酸、硝酸等 | |
格林達 | 格林達是一家專業從事高純電子化學品研發、生產和服務的高新技術企業,是全球主要的顯影液TMAH生產商之一 | |
上海新陽 | 上海新陽主要從事電子電鍍與電子清洗系列功能性化學材料的研發、生產、銷售 | |
飛凱材料 | 飛凱材料從光通信領域紫外固化材料的自主研發和生產開始,目前已將核心業務范圍逐步拓展至集成電路制造、屏幕顯示等領域 | |
新宙邦 | 新宙邦是領先的電子化學品和功能材料企業,產品主要有鋰電池化學品、電容器化學品、有機氟化學品、半導體化學品以及LED封裝材料等 | |
湖北興福 | 湖北興福產品種類由最初的電子級磷酸拓展到電子級硫酸、電子級硝酸、電子級鹽酸、電子級雙氧水、電子級氨水等 | |
江陰潤瑪 | 江陰潤瑪主要從事超凈高純試劑的研發、生產和銷售,主要產品有氫氟酸、硝酸、蝕刻液等 |
表全球及中國主要的濕電子化學品供應商
國產化率方面,以集成電路行業為例,目前國內6吋及以下晶圓加工所用的濕電子化學品的國產化率已經超過80%。8吋晶圓產品加工所用的濕電子化學品國產化率正在不斷提升,而12吋晶圓產品所用的濕電子化學品國產化率非常低,8英寸及以上整體僅20%。
新建晶圓廠提升濕電子化學品需求,未來中國大陸產能占全球超三分之一
亞化咨詢數據顯示,截止2023年底,國內運行中的8英寸晶圓產線共32條,合計實際產能約140萬片/月;12英寸產線共45條,合計實際產能約150-160萬片/月。
亞化咨詢資料顯示,目前多數Fab項目仍然在建設及擴產中,或處于初期產能爬升階段,以中芯國際、華虹、晶合集成等全球前十晶圓代工企業,以及國內頭部存儲芯片企業長江存儲、合肥長鑫為代表的正在進入國際先進制程,且預計未來擴產幅度仍保持領先,中國芯片自主制造已成進行時。此外,臺積電、海力士、三星為代表的外資晶圓廠以及華潤微、士蘭微等其他本土晶圓廠也將持續擴產。
未來中國大陸將成為全球產能增速最快、產量最高地區,8、12英寸產能全球占比均在20%-25%范圍,預計2026年國內本土芯片廠的12英寸名義產能接近400萬片/月,產能利用率仍待考察,預計在240萬片/月。同理,根據目前國內8英寸晶圓廠投產、在建及規劃中項目,預計到2026年將達到每月170萬片/月晶圓。
按制程來看,國內晶圓廠在汽車產業等大量需要28納米以上之成熟制程半導體,目前已占全球生產能力之29%,僅次于中國臺灣地區之49%,預計2027年中國大陸占比將增加至33%。
僅集成電路行業來看,受益于國內晶圓廠的持續擴產,亞化咨詢預計到2026年,中國集成電路用濕電子化學品需求量將超過110萬噸。
此外,顯示面板產能向大陸轉移、新型顯示技術的發展以及光伏需求持續上升的影響,相關領域濕電子化學品市場規模也快速增長、增速將遠高于全球。
審核編輯:劉清
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原文標題:中國大陸晶圓產能占全球三分之一,提升濕電子化學品需求
文章出處:【微信號:CSF211ic,微信公眾號:中國半導體論壇】歡迎添加關注!文章轉載請注明出處。
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