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淺談因電遷移引發(fā)的半導(dǎo)體失效

Excelpoint世健 ? 2024-03-05 08:23 ? 次閱讀

半導(dǎo)體產(chǎn)品老化是一個自然現(xiàn)象,在電子應(yīng)用中,基于環(huán)境、自然等因素,半導(dǎo)體在經(jīng)過一段時間連續(xù)工作之后,其功能會逐漸喪失,這被稱為功能失效。半導(dǎo)體功能失效主要包括:腐蝕、載流子注入、電遷移等。其中,電遷移引發(fā)的失效機理最為突出。技術(shù)型授權(quán)代理商Excelpoint世健的工程師Wolfe Yu在此對這一現(xiàn)象進(jìn)行了分析。

背景

從20世紀(jì)初期第一個電子管誕生以來,電子產(chǎn)品與人類的聯(lián)系越來越緊密,特別是進(jìn)入21世紀(jì)以來,隨著集成電路的飛速發(fā)展,人們對電子產(chǎn)品的需求也變得愈加豐富。隨著電子產(chǎn)品的普及,電子產(chǎn)品失效率越來越高,質(zhì)量變差,新產(chǎn)品不耐用。

由于產(chǎn)品失效率的提高,許多學(xué)者參與到半導(dǎo)體失效分析的研究中。經(jīng)過大量研究分析和仿真,學(xué)者總結(jié)出:由于電流的作用,導(dǎo)致導(dǎo)線中的金屬原子與電子通過摩擦產(chǎn)生電遷移位移現(xiàn)象所引發(fā)的失效是電子產(chǎn)品失效模式的主要因素之一。電遷移滿足失效分布函數(shù)曲線,產(chǎn)品失效模式與產(chǎn)品工藝、工作溫度關(guān)系密切。

電遷移現(xiàn)象主要發(fā)生在半導(dǎo)體在通電狀態(tài)下,由于電場作用,原子在與電子流的帶動下,由于摩擦,產(chǎn)生移位現(xiàn)象,這一現(xiàn)象被稱為電遷移。94d544aa-da86-11ee-9118-92fbcf53809c.png

圖 1. 電遷移作用力引發(fā)半導(dǎo)體失效原理

如圖所示,在電場作用下,半導(dǎo)體在導(dǎo)通過程中,正電荷會同時受到靜電場力和電子高速運動沖擊所產(chǎn)生的風(fēng)力作用。

由于電流密度增大,電子產(chǎn)生的風(fēng)力會大于靜電場力,從而導(dǎo)致正電荷——也就是金屬原子,產(chǎn)生移位,這一現(xiàn)象稱為電遷移效應(yīng)或電遷移現(xiàn)象。經(jīng)過長期積累,半導(dǎo)體的部分連接就會形成不連貫的晶須(Hillock)或空洞(Void),最終導(dǎo)致半導(dǎo)體元器件失效。94e2972c-da86-11ee-9118-92fbcf53809c.png圖 2.電遷移作用失效示意圖

James R.Black最早在1967年提出基于電遷移引起平均失效時間(MTTF)的數(shù)據(jù)擬合經(jīng)驗?zāi)P停瑸槭Х治鼍哂欣锍瘫囊饬x。

按照Black模型公式:

94e6a9ac-da86-11ee-9118-92fbcf53809c.png

半導(dǎo)體元器件的失效機理與材料、電子碰撞間隔平均自由時間、有效散射橫截面積的因素常量A,電流密度j,絕對溫度T等因素相關(guān)。Blench和Korhonen等人進(jìn)一步對電遷移物理模型進(jìn)行完善。半導(dǎo)體元器件的失效機理單元模型壽命可靠度函數(shù)符合歐拉公式。

根據(jù)以上公式,電流密度越大,半導(dǎo)體元器件的響應(yīng)速度就快,元件壽命就會越短,反之,元件的壽命就會增長。要滿足半導(dǎo)體元器件的響應(yīng)速度,則半導(dǎo)體就需要較高的參雜度,另一方面,通過摻雜不同的材料、調(diào)整有效散射橫截面積等因素也會對芯片的壽命產(chǎn)生影響。

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常規(guī)解決方案

報廢機制

企業(yè)通常利用產(chǎn)品生命周期管理方式,通過對產(chǎn)品生命周期進(jìn)行分析,為產(chǎn)品設(shè)計一個報廢界定時間。在汽車、水電氣表等行業(yè)采用這種方式比較常見。

系統(tǒng)冗余

在保障性系統(tǒng)設(shè)計中,企業(yè)一般在報廢機制的基礎(chǔ)之上,還會通過采用雙備份冗余設(shè)計、或者K/N表決冗余,并加上系統(tǒng)修復(fù)的方式進(jìn)行系統(tǒng)設(shè)計。

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技術(shù)源頭控制

工藝控制理論

根據(jù)Black模型理論,當(dāng)半導(dǎo)體采用寬線徑工藝,橫截面積較大時,其芯片壽命會變長,產(chǎn)品平均失效時間MTTF會相對拉得更長。這也從側(cè)面解釋了為什么傳統(tǒng)工藝設(shè)計出來的產(chǎn)品可靠性更高。

差異化技術(shù)控制方法

在芯片原理設(shè)計中,采用不同的拓?fù)浼軜?gòu)模型,通過差異化技術(shù)實現(xiàn)不同的控制方法也很常見,比如采用CMOS基本單元替代TTL基本單元、采用恒流源替代恒壓源來完成不同的產(chǎn)品拓?fù)淠P汀T?a href="http://m.1cnz.cn/tags/adc/" target="_blank">ADCDAC運算放大器比較器等模型設(shè)計中十分常見。

在一些設(shè)計場合,通過調(diào)整芯片輸入閾值,降低芯片靈敏度,或通過控制芯片切換頻率,降低電流密度,達(dá)到提高產(chǎn)品可靠性的目的。

在核心處理芯片模型設(shè)計中,根據(jù)不同的應(yīng)用場景,為了追求產(chǎn)品處理速度和可靠性,通常會采用不同的工藝模型進(jìn)行芯片架構(gòu)設(shè)計,比如從CMOS衍生出來的SRAMDRAMROM、EEPROM、Flash等工藝用于不同的處理器產(chǎn)品架構(gòu)中,會達(dá)到出不同的可靠性效果。94ea6dda-da86-11ee-9118-92fbcf53809c.png

圖 3.不同工藝模型芯片單元架構(gòu)

ROM工藝的處理器是一種非常古老的工藝產(chǎn)品,只能燒錄一次,雖然在某些應(yīng)用場景還依然被大量使用。但在目前主流的產(chǎn)品方案應(yīng)用中,基于SRAM和Flash工藝的MCU、MPU或FPGA處理器占據(jù)了絕大多數(shù)應(yīng)用場景。

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Microchip高可靠性Flash FPGA介紹

SRAM工藝的處理器是通過CMOS內(nèi)部管道切換的方式工作,其產(chǎn)品處理速度較高,被眾多用戶接受。但是,CMOS工藝有一個致命缺陷,由于工藝原因,伴隨CMOS工藝制成芯片產(chǎn)生米勒效應(yīng)極其容易受到外界干擾,產(chǎn)生翻轉(zhuǎn)。另外,CMOS在翻轉(zhuǎn)過程中,內(nèi)阻變小,電流密度過大,芯片長期在高電流密度下工作,會加速產(chǎn)品老化時間。

除了基于傳統(tǒng)CMOS的SRAM處理器之外,Microchip推出了一種基于疊柵MOS工藝的Flash架構(gòu)FPGA處理器。9544afb6-da86-11ee-9118-92fbcf53809c.png

圖4.Flash架構(gòu)FPGA與SRAM架構(gòu)FPGA的差別

Microchip的FPGA 產(chǎn)品范圍覆蓋從低端到中端應(yīng)用,其產(chǎn)品特點以抗單粒子翻轉(zhuǎn)、安全、低功耗和上電即工作著稱,廣泛應(yīng)用于通信、國防和航空、工業(yè)嵌入式產(chǎn)品。Microchip 目前主推三大系列 FPGA:

?支持5K-150K LE(Logic Elements)具有大量資源的低密度器件的IGLOO2 系列;

?支持5K-150K LE具有大量資源和 32 位硬核處理器內(nèi)核(ARM Cortex-M3)

的SmartFusion2 SoC系列;

?以及采用 28 納米工藝技術(shù)實現(xiàn), 支持25K - 480K LE的高性能PolarFire FPGA 和 PolarFire SoC系列(Hard 5-Core RISC-V 600MHZ CPU)。

這三大系列FPGA除了具有抗干擾、低功耗、上電啟動的特征外,還具有強大的DSP/數(shù)學(xué)模塊(18x18乘法器),可用于當(dāng)前熱門的AI市場。

Microchip的這款Flash架構(gòu)的FPGA最大的一個特點是電流密度小、抗干擾能力強、動態(tài)切換不會出現(xiàn)電流波動,基于其低功耗的特點,可大大延長產(chǎn)品使用壽命。非常適合應(yīng)用在高可靠性、低失效率應(yīng)用場合,能高效改善因電遷移引發(fā)的半導(dǎo)體失效問題。其授權(quán)代理商Excelpoint世健可提供技術(shù)支持和指導(dǎo)。

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