色哟哟视频在线观看-色哟哟视频在线-色哟哟欧美15最新在线-色哟哟免费在线观看-国产l精品国产亚洲区在线观看-国产l精品国产亚洲区久久

0
  • 聊天消息
  • 系統消息
  • 評論與回復
登錄后你可以
  • 下載海量資料
  • 學習在線課程
  • 觀看技術視頻
  • 寫文章/發帖/加入社區
會員中心
电子发烧友
开通电子发烧友VIP会员 尊享10大特权
海量资料免费下载
精品直播免费看
优质内容免费畅学
课程9折专享价
創作中心

完善資料讓更多小伙伴認識你,還能領取20積分哦,立即完善>

3天內不再提示

電感耦合等離子刻蝕

jf_01960162 ? 來源:jf_01960162 ? 作者:jf_01960162 ? 2023-12-15 14:28 ? 次閱讀

引言

眾所周知,化合物半導體中不同的原子比對材料的蝕刻特性有很大的影響。為了對蝕刻速率和表面形態的精確控制,通過使用低至25nm的薄器件阻擋層的,從而增加了制造的復雜性。本研究對比了三氯化硼與氯氣的偏置功率,以及氣體比對等離子體腐蝕高鋁含量AlGaN與AlN在蝕刻速率、選擇性和表面形貌方面的影響。

蝕刻速率受偏置功率和氣體化學性質的影響很大。英思特詳細說明了AlGaN的Al組成的微小變化的影響,并顯示了與AlN相比,相對于偏置功率的蝕刻速率的顯著變化。

實驗與討論

本研究采用金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)培養了三種不同的樣品,包括Al0.71Ga0.29N、Al0.85Ga0.15N和AlN。所有三個樣品都在1.3mm厚的藍寶石基板上的AlN緩沖層上生長。為了評估偏置功率對蝕刻速率和表面形貌的影響,在腔室壓力(3mTorr)、ICP功率(125W)和氣體流量(20%三氯化硼+5sccmAr)的條件下,將偏置功率從10W掃到100W。

圖1顯示了所有三種成分的蝕刻速率。我們觀察到隨著蝕刻率的線性增加,Al0.71Ga0.29N組成的調查偏差功率為100W。然而,Al0.85Ga0.15N和AlN蝕刻率呈現非線性趨勢,即使在較低偏置功率下,都顯示接近飽和蝕刻率100W偏置功率。

wKgaomV78WGALqkAAAB-TBftM8U361.png圖1:偏置功率對蝕刻率的影響

如圖2所示,與Al0.85Ga0.15N和AlN相比,Al0.71Ga0.29N對偏壓功率表面粗糙度的響應顯示出不同的趨勢,其類似于圖1中顯示出的不同趨勢的蝕刻速率。與Al0.71Ga0.29N相比,Al0.85Ga0.15N和AlN在10W至20W范圍內表現出更大的表面粗糙度,在更低的偏置功率下過渡到更光滑的表面。

隨著Al含量的降低,這種蝕刻機制的平衡得到改善,并且與較高的含Al成分相比,在低偏壓下會導致較低的表面粗糙度。總的來說,對于后處理制造來說,30W以上的所有三種組合物的亞納米表面粗糙度都是可接受的。

結論

英思特實驗發現,當保持壓力、ICP功率和總氣體流量不變時,Al0.71Ga0.29N的蝕刻速率在高達100 W的偏壓功率下呈現線性趨勢,而Al0.85Ga0.15N和AlN都呈現接近飽和的非線性蝕刻速率。其結果表明,即使Al的含量發生微小變化,也會導致顯著的蝕刻速率和表面形態趨勢。

同樣,所研究的較低Al含量,Al0.71Ga0.29N,隨著BCl3與Cl2比率的變化,顯示出對表面形態的不同響應。此外,對于高Cl2含量的等離子體蝕刻,其表面氧化導致蝕刻速率的顯著降低以及表面粗糙度的增加。

審核編輯 黃宇

聲明:本文內容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網站授權轉載。文章觀點僅代表作者本人,不代表電子發燒友網立場。文章及其配圖僅供工程師學習之用,如有內容侵權或者其他違規問題,請聯系本站處理。 舉報投訴
  • 等離子
    +關注

    關注

    2

    文章

    236

    瀏覽量

    30267
  • 電感耦合
    +關注

    關注

    1

    文章

    67

    瀏覽量

    16075
  • 刻蝕
    +關注

    關注

    2

    文章

    195

    瀏覽量

    13245
收藏 0人收藏

    評論

    相關推薦

    電感耦合等離子體質譜(ICP-MS)法測定氟的應用進展

    和公共健康研究至關重要。綜述了現有的氟分析方法,重點探討了近年來發展的基于電感耦合等離子體質譜(ICP-MS)技術的氟分析方法及應用,深入討論了這類方法如何通過質量轉移策略,
    的頭像 發表于 02-19 13:57 ?395次閱讀
    <b class='flag-5'>電感</b><b class='flag-5'>耦合</b><b class='flag-5'>等離子</b>體質譜(ICP-MS)法測定氟的應用進展

    等離子電視與最新技術對比

    在電視技術的發展史上,等離子電視曾是家庭娛樂的中心。然而,隨著科技的進步,新的顯示技術不斷涌現,等離子電視逐漸退出了主流市場。本文將探討等離子電視與當前主流顯示技術——液晶顯示(LCD)、有機
    的頭像 發表于 01-13 09:56 ?430次閱讀

    等離子電視的連接方式解析

    等離子電視以其出色的畫質和大屏幕體驗,曾經是家庭娛樂中心的首選。盡管隨著技術的發展,液晶電視和OLED電視逐漸取代了等離子電視的市場地位,但等離子電視依然以其獨特的優勢在某些領域保持著一席之地。 一
    的頭像 發表于 01-13 09:54 ?563次閱讀

    等離子的基本屬性_等離子體如何發生

    射頻等離子體(RF等離子體)是在氣流中通過外部施加的射頻場形成的。當氣體中的原子被電離時(即電子在高能條件下與原子核分離時),就會產生等離子體。這種電離過程可以通過各種方法實現,包括熱、電和電磁
    的頭像 發表于 01-03 09:14 ?504次閱讀
    <b class='flag-5'>等離子</b>的基本屬性_<b class='flag-5'>等離子</b>體如何發生

    等離子體刻蝕和濕法刻蝕有什么區別

    等離子體刻蝕和濕法刻蝕是集成電路制造過程中常用的兩種刻蝕方法,雖然它們都可以用來去除晶圓表面的材料,但它們的原理、過程、優缺點及適用范圍都有很大的不同。 ? ? 1. 刻蝕原理和機制的
    的頭像 發表于 01-02 14:03 ?457次閱讀

    微波堿熔消解-電感耦合等離子體發射光譜法測定含包覆碳的磷酸鐵鋰中的磷、鐵、鋰

    1實驗部分 1.1主要儀器和試劑 儀器:電感耦合等離子體發射光譜儀(上海美析儀器有限公司);微波消解儀。 試劑:GSBG62001鋰、GSBG62020-90鐵、GSBG6200-90磷
    的頭像 發表于 12-25 13:55 ?254次閱讀
    微波堿熔消解-<b class='flag-5'>電感</b><b class='flag-5'>耦合</b><b class='flag-5'>等離子</b>體發射光譜法測定含包覆碳的磷酸鐵鋰中的磷、鐵、鋰

    射頻電源的功率與頻率對刻蝕結果的影響

    ? 本文介紹了射頻電源的功率與頻率對刻蝕結果的影響。 干法刻蝕中,射頻電源的功率與頻率對刻蝕結果都有哪些影響? 什么是RF的功率與頻率? RF功率(RF Power),是指射頻電源提供給等離子
    的頭像 發表于 12-18 11:52 ?1096次閱讀

    芯片制造過程中的兩種刻蝕方法

    本文簡單介紹了芯片制造過程中的兩種刻蝕方法 ? 刻蝕(Etch)是芯片制造過程中相當重要的步驟。 刻蝕主要分為干刻蝕和濕法刻蝕。 ①干法
    的頭像 發表于 12-06 11:13 ?893次閱讀
    芯片制造過程中的兩種<b class='flag-5'>刻蝕</b>方法

    等離子體的定義和特征

    等離子體的定義 等離子體是一種由離子、電子和中性粒子組成的電離氣體。在這種狀態下,物質的部分或全部原子被電離,即原子核與電子分離,形成了帶正電的離子和自由移動的電子。這種電離狀態使得
    的頭像 發表于 11-29 10:06 ?2697次閱讀

    等離子體清洗的原理與方法

    等離子體清洗的原理 等離子體是物質的第四態,由離子、電子、自由基和中性粒子組成。等離子體清洗的原理主要基于以下幾點: 高活性粒子 :等離子
    的頭像 發表于 11-29 10:03 ?793次閱讀

    為什么干法刻蝕又叫低溫等離子體刻蝕

    本文介紹了為什么干法刻蝕又叫低溫等離子體刻蝕。 什么是低溫等離子體刻蝕,除了低溫難道還有高溫嗎?等離子體的溫度?? ? 等離子體是物質的第四
    的頭像 發表于 11-16 12:53 ?516次閱讀
    為什么干法<b class='flag-5'>刻蝕</b>又叫低溫<b class='flag-5'>等離子體刻蝕</b>

    半導體干法刻蝕技術解析

    主要介紹幾種常用于工業制備的刻蝕技術,其中包括離子刻蝕(IBE)、反應離子刻蝕(RIE)、以及后來基于高密度等離子體反應
    的頭像 發表于 10-18 15:20 ?1228次閱讀
    半導體干法<b class='flag-5'>刻蝕</b>技術解析

    什么是電感耦合等離子體,電感耦合等離子體的發明歷史

    電感耦合等離子體(Inductively Coupled Plasma, ICP)是一種常用的等離子體源,廣泛應用于質譜分析、光譜分析、表面處理等領域。ICP
    的頭像 發表于 09-14 17:34 ?1382次閱讀

    電感耦合等離子體的基本原理及特性

    電感耦合等離子體系統中,射頻電源常操作在13.56 MHz,這一頻率能夠有效地激發氣體分子產生高頻振蕩,形成大量的正離子、電子和中性粒子。通過適當調節氣體流量、壓力和射頻功率,可以實
    的頭像 發表于 09-14 14:44 ?1984次閱讀

    等離子刻蝕ICP和CCP優勢介紹

    刻蝕可以分為濕法刻蝕和干法刻蝕。濕法刻蝕各向異性較差,側壁容易產生橫向刻蝕造成刻蝕偏差,通常用于
    的頭像 發表于 04-12 11:41 ?6183次閱讀
    <b class='flag-5'>等離子</b><b class='flag-5'>刻蝕</b>ICP和CCP優勢介紹
    主站蜘蛛池模板: 媚药调教被撑到合不拢h | 久久精品国产欧美成人 | 欧美日韩看看2015永久免费 | 久久精品电影网 | 无码精品AV久久久奶水 | 床伴在线观看免费高清完整泰剧第四集 | 国产成人精品男人的天堂网站 | 国产 在线 亚洲 欧美 动漫 | 三级网址在线 | 成人免费视频在线播放 | 男子扒开美女尿口做羞羞的事 | 亚洲视频在线观看不卡 | 好男人免费观看在线高清WWW | 一本道久久综合久久88 | 动漫美女脱小内内露尿口 | 大香网伊人久久综合观看 | 97视频久久| 国产中文字幕乱码免费 | 狠狠狠色丁香婷婷综合久久 | 精品国产乱码久久久久久人妻 | 嫩草成人国产精品 | 他揉捏她两乳不停呻吟口述 | 叔叔 电影完整版免费观看韩国 | 97超碰97资源在线观看 | 久久国产精品萌白酱免费 | 国产成人免费高清在线观看 | 爱豆剧果冻传媒在线播放 | tube69hdxxxx日本| 久久久无码精品亚洲A片软件 | p影院永久免费 | 色琪琪丁香婷婷综合久久 | 五月丁香啪啪. | 免费乱理伦片在线观看八戒 | 蜜桃无码AV视频在线观看 | 色综合久久综合网观看 | 亚洲国产剧情中文视频在线 | 又粗又大又爽又黄的免费视频 | 久久vs国产 | xiao776唯美清纯| 久久精品人人做人人爽97 | 富婆大保健嗷嗷叫普通话对白 |

    電子發燒友

    中國電子工程師最喜歡的網站

    • 2931785位工程師會員交流學習
    • 獲取您個性化的科技前沿技術信息
    • 參加活動獲取豐厚的禮品