重慶大學微系統研究中心課件！《MEMS工藝集成》
重慶大學微系統中心依托于重慶大學，主要合作單位有中國電子科技集團公司第二十四研究所等。中心主要從事MEMS設計、研發及加工關鍵技術研究、產業化轉化和人才培養。
MEMS傳感器主要優點是體積小、重量輕、功耗低、可靠性高、靈敏度高、易于集成等，是微型傳感器的主力軍，正在逐漸取代傳統機械傳感器，在各個領域幾乎都有研究，不論是消費電子產品、汽車工業、甚至航空航天、機械、化工及醫藥等各領域。
審核編輯 黃宇
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