2023年9月，杭州朗迅科技股份有限公司正式發(fā)布晶圓制造虛擬仿真實(shí)訓(xùn)系統(tǒng)。系統(tǒng)采用虛擬仿真和虛擬現(xiàn)實(shí)技術(shù)，按8英寸晶圓真實(shí)FAB線環(huán)境的要求，對車間環(huán)境、真實(shí)設(shè)備、工藝流程等進(jìn)行高度模擬仿真，主要包括單晶硅生長、硅襯底制備、氧化、光刻、刻蝕、離子注入、化學(xué)氣相淀積（CVD）、物理氣相淀積（PVD）、化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）等9大工序。系統(tǒng)采用3D沉浸式互動(dòng)方式讓學(xué)生體驗(yàn)和參與整體工藝、參數(shù)設(shè)置等技術(shù)流程，進(jìn)而掌握集成電路制造工藝的基本原理、設(shè)備認(rèn)識(shí)、工藝實(shí)訓(xùn)以及參數(shù)設(shè)置等技術(shù)技能。

作為國內(nèi)知名的集成電路測試專業(yè)化服務(wù)企業(yè)和典型的集成電路產(chǎn)教融合型企業(yè)，朗迅科技堅(jiān)持秉持建設(shè)世界一流的集成電路測試基地、以先進(jìn)技術(shù)、創(chuàng)新模式持續(xù)賦能“中國芯” 愿景，專注于集成電路產(chǎn)業(yè)生態(tài)建設(shè)與服務(wù)、產(chǎn)教融合與人才培養(yǎng)，助力國家集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)高水平科技自立自強(qiáng)。

今年3月，朗迅科技的虛擬仿真研發(fā)團(tuán)隊(duì)針對國內(nèi)近100所高等院校集成電路相關(guān)專業(yè)課程的開設(shè)情況和教學(xué)模式開展了為期一個(gè)月的深入調(diào)研和訪談。4月初，我司正式啟動(dòng)了晶圓制造虛擬仿真實(shí)訓(xùn)系統(tǒng)的開發(fā)工作，以針對性解決實(shí)訓(xùn)教學(xué)過程中“高投入、高難度、高風(fēng)險(xiǎn)，難實(shí)施、難觀摩、難再現(xiàn)”等痛點(diǎn)和難點(diǎn)問題，有效實(shí)現(xiàn)人才培養(yǎng)的信息化、智能化和現(xiàn)代化。

晶圓制造虛擬仿真實(shí)訓(xùn)系統(tǒng)是對全鏈路虛擬仿真實(shí)訓(xùn)系統(tǒng)的進(jìn)一步完善，可以有效地鏈接封裝實(shí)訓(xùn)系統(tǒng)和測試實(shí)訓(xùn)系統(tǒng)，最終實(shí)現(xiàn)集成電路實(shí)訓(xùn)操作的完整閉環(huán)。同時(shí)，有意向的院校可以與我司聯(lián)系進(jìn)行產(chǎn)品體驗(yàn)與試用！

一、實(shí)訓(xùn)系統(tǒng)的五大特色

1采用3D建模高度還原晶圓制造車間原貌及制造工藝全流程，讓學(xué)生身臨其境地“邊體驗(yàn)邊學(xué)習(xí)”晶圓制造工藝和技能。

2新增微觀原理動(dòng)畫和原理講解，將抽象的理論知識(shí)具象化，幫助學(xué)生理解制造工序過程中芯片內(nèi)部發(fā)生的系列反應(yīng)。

3復(fù)雜運(yùn)行流程可視化。模擬晶圓制造設(shè)備內(nèi)部真實(shí)的運(yùn)行過程，學(xué)生可更直觀地看到設(shè)備內(nèi)部運(yùn)行情況。（下圖為離子注入設(shè)備內(nèi)部的反應(yīng)動(dòng)畫）

4實(shí)訓(xùn)中各大小步驟可自由切換，方便教師隨時(shí)調(diào)取所需內(nèi)容用于課堂重點(diǎn)解析，同時(shí)學(xué)生也可從中間任意環(huán)節(jié)開啟實(shí)訓(xùn)，一改傳統(tǒng)流程工藝“不可返回、從頭開始”的不良體驗(yàn)。

5設(shè)備介紹視頻板塊全新升級(jí)，增加設(shè)備內(nèi)部運(yùn)行原理和設(shè)備結(jié)構(gòu)動(dòng)畫。

二、實(shí)訓(xùn)系統(tǒng)的應(yīng)用場景

1助力課堂教學(xué)，支持專業(yè)課程開展

通過虛擬現(xiàn)實(shí)這種新穎、互動(dòng)的新型教學(xué)模式，將虛擬現(xiàn)實(shí)技術(shù)與院校重點(diǎn)專業(yè)相結(jié)合，改革傳統(tǒng)實(shí)驗(yàn)操作模式；同時(shí)將過去設(shè)備昂貴、實(shí)驗(yàn)代價(jià)較高的操作實(shí)訓(xùn)課，轉(zhuǎn)入虛擬空間，讓學(xué)生輕松安全地完成實(shí)訓(xùn)學(xué)習(xí)。

2賦能學(xué)生&教師技能競賽比拼

朗迅晶圓制造虛擬仿真實(shí)訓(xùn)系統(tǒng)，“始于顏值，樂于體驗(yàn)，終于內(nèi)容”，開啟實(shí)訓(xùn)教學(xué)新模式，強(qiáng)化課堂教學(xué)及實(shí)踐效果，可有效助力學(xué)生及教師技能提升與比拼。

3推動(dòng)虛擬仿真實(shí)訓(xùn)基地建設(shè)

朗迅集成電路封裝虛擬仿真實(shí)訓(xùn)系統(tǒng)和測試虛擬仿真實(shí)訓(xùn)系統(tǒng)，此前已成功助力多所院校申報(bào)國家級(jí)、省級(jí)虛擬仿真實(shí)訓(xùn)基地。通過實(shí)訓(xùn)基地大大加強(qiáng)實(shí)訓(xùn)課程設(shè)計(jì)的專業(yè)性和兼容性，完善與虛擬仿真相適應(yīng)的實(shí)訓(xùn)教學(xué)課程體系，整合實(shí)訓(xùn)教學(xué)內(nèi)容，研究開發(fā)實(shí)訓(xùn)教學(xué)資源，打造高水平教學(xué)團(tuán)隊(duì)，優(yōu)化人才培養(yǎng)方案和實(shí)訓(xùn)方式。

三、豐富的配套教學(xué)資源&服務(wù)

1系統(tǒng)優(yōu)質(zhì)的教學(xué)課件和微課資源

幫助教師節(jié)約備課時(shí)間，轉(zhuǎn)而將更多地時(shí)間投入到如何更高效地開展教學(xué)工作、促進(jìn)人才培養(yǎng)的教學(xué)法當(dāng)中。

2全面深化知識(shí)點(diǎn)的實(shí)訓(xùn)指導(dǎo)書

相較于封裝和測試實(shí)訓(xùn)指導(dǎo)書，該書內(nèi)容更加豐富和完善：不僅提供了實(shí)訓(xùn)系統(tǒng)操作的指導(dǎo)教程，還針對不同的工序，增加了知識(shí)背景、原理講解、設(shè)備運(yùn)行原理等內(nèi)容，使學(xué)生真正做到知其然且知其所以然。

3全面系統(tǒng)的師資培訓(xùn)

對于初建專業(yè)或者系統(tǒng)使用方式不清晰的院校，我司可免費(fèi)安排專業(yè)的師資培訓(xùn)以及實(shí)訓(xùn)系統(tǒng)使用的相關(guān)培訓(xùn)。

朗迅科技匯聚其產(chǎn)業(yè)和教育的多方資源和力量，提供專業(yè)的虛擬現(xiàn)實(shí)教育資源與服務(wù)—還原真實(shí)場景，構(gòu)建教學(xué)環(huán)境，延展實(shí)訓(xùn)教學(xué)時(shí)間和空間，拓展實(shí)訓(xùn)教學(xué)內(nèi)容廣度和深度、提升實(shí)訓(xùn)教學(xué)質(zhì)量和水平，有效構(gòu)建職業(yè)能力和職業(yè)素質(zhì)有機(jī)結(jié)合的教學(xué)實(shí)訓(xùn)體系。

朗迅充分利用VR/AR等新型技術(shù)，助力學(xué)校優(yōu)秀專業(yè)群建設(shè)，共探以集成電路為核心的虛擬仿真課程資源體系和創(chuàng)新型人才培養(yǎng)模式。依托高度還原的集成電路全產(chǎn)業(yè)鏈虛擬仿真實(shí)訓(xùn)系統(tǒng)系列產(chǎn)品（含制造、封裝和測試等），創(chuàng)設(shè)沉浸式教學(xué)環(huán)境，加強(qiáng)實(shí)訓(xùn)及考核，讓學(xué)生學(xué)到最新的技術(shù)和操作技能，真切融入集成電路產(chǎn)業(yè)工作崗位，為學(xué)生走向社會(huì)打下堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。