材料科學的目標是研究材料表面結構對于其表面特性的影響。因此,高分辨率分析表面形貌對確定表面粗糙度、反光特性、摩擦學性能及表面質量等相關參數具有重要意義。共焦技術能夠測量各種表面反射特性的材料并獲得有效的測量數據。
以共聚焦技術為原理的VT6000激光共聚焦顯微鏡,是用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。高度測量分辨率達到0.5nm。

應用
1.MEMS
微米和亞微米級部件的尺寸測量,各種工藝(顯影,刻蝕,金屬化,CVD, PVD,CMP等)后表面形貌觀察,缺陷分析。
2.精密機械部件,電子器件
微米和亞微米級部件的尺寸測量,各種表面處理工藝,焊接工藝后的表面形 貌觀察,缺陷分析,顆粒分析。
3.半導體/ LCD
各種工藝(顯影,刻蝕,金屬化,CVD,PVD,CMP等)后表面形貌觀察, 缺陷分析 非接觸型的線寬,臺階深度等測量。
4.摩擦學,腐蝕等表面工程
磨痕的體積測量,粗糙度測量,表面形貌,腐蝕以及亞微米表面工程后的表面形貌。


技術指標
型號:VT6100
行程范圍:100*100*100mm
視場范圍:120×120 μm~1.2×1.2 mm
高度測量重復性(1σ):12nm
高度測量精度:± (0.2+L/100) μm
高度測量分辨率:0.5nm
寬度測量重復性(1σ):40nm
寬度測量精度:± 2%
寬度測量分辨率:1nm
外形尺寸:520×380×600mm
儀器重量:50kg
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材料
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