SAW是表面聲波器件的英文縮寫，它是一種利用表面聲波（Surface Acoustic Wave）原理的電子器件。SAW器件可以將電信號(hào)轉(zhuǎn)換為表面聲波，使其在表面?zhèn)鞑ィ⑼ㄟ^反向轉(zhuǎn)換將其轉(zhuǎn)換回電信號(hào)。SAW器件的主要用途是頻率濾波器，它可以用于無(wú)線通信、雷達(dá)、電視、音頻等領(lǐng)域。

SAW濾波器是一種常見的聲波濾波器，它可以將特定頻率的聲波信號(hào)從混合信號(hào)中分離出來(lái)。SAW濾波器利用表面聲波的傳輸特性，通過設(shè)定合適的諧振頻率和帶寬來(lái)實(shí)現(xiàn)濾波功能。下面將介紹如何將SAW制作成聲波濾波器。

1、SAW濾波器基本原理

SAW濾波器的基本原理是利用聲波在晶體中傳播時(shí)的反射和干涉效應(yīng)。當(dāng)一個(gè)電壓信號(hào)通過輸入電極施加在SAW器件上時(shí)，它會(huì)激發(fā)出一系列表面聲波，并在晶體中傳播。這些表面聲波在晶體中傳播時(shí)，會(huì)受到晶體結(jié)構(gòu)的影響，因此它們的傳播速度和頻率都會(huì)隨著晶體結(jié)構(gòu)的變化而變化。當(dāng)聲波到達(dá)晶體的反射點(diǎn)時(shí)，會(huì)被反射回來(lái)，并與反射點(diǎn)處的新聲波干涉，從而形成一個(gè)駐波。這個(gè)駐波的頻率取決于晶體的幾何尺寸和材料特性。

SAW濾波器利用這種駐波的形成來(lái)實(shí)現(xiàn)濾波功能。具體來(lái)說，它會(huì)在晶體表面上制造一系列反射點(diǎn)，這些反射點(diǎn)會(huì)反射出特定頻率的聲波，并與入射聲波干涉。通過調(diào)整反射點(diǎn)的位置和數(shù)量，可以實(shí)現(xiàn)特定的頻率響應(yīng)。

2、制造SAW濾波器的基本步驟

制造SAW濾波器的基本步驟包括以下幾個(gè)方面：

（1）選擇晶體材料

SAW濾波器的制造需要使用晶體材料，常用的材料有石英、鋰鉭酸鋰、LiNbO3等。不同的晶體材料具有不同的特性，如機(jī)械剛度、聲學(xué)速度、衰減系數(shù)等，需要根據(jù)具體的應(yīng)用要求來(lái)選擇。

（2）制造反射柵

反射柵是SAW濾波器的核心部件，它由一系列周期性的金屬條組成，用于反射聲波。反射柵的制造需要使用光刻技術(shù)和金屬蒸鍍技術(shù)，具體步驟如下：

①在晶體表面涂覆一層光刻膠，然后在上面曝光，形成反射柵的圖案。

②將晶體浸泡在顯影液中，使未曝光區(qū)域的光刻膠被溶解掉。

③使用金屬蒸鍍技術(shù)，在晶體表面上鍍上一層金屬，形成反射柵。

（3）制造輸入輸出電極

輸入輸出電極是將電信號(hào)轉(zhuǎn)換成聲波信號(hào)和將聲波信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)的部件，它們需要連接到反射柵上。輸入輸出電極的制造需要使用金屬蒸鍍技術(shù)和光刻技術(shù)，具體步驟如下：

①在晶體表面涂覆一層光刻膠，然后在上面曝光，形成輸入輸出電極的圖案。

②將晶體浸泡在顯影液中，使未曝光區(qū)域的光刻膠被溶解掉。

③使用金屬蒸鍍技術(shù)，在晶體表面上鍍上一層金屬，形成輸入輸出電極。

（4）封裝和測(cè)試

將反射柵和輸入輸出電極封裝在一個(gè)金屬盒子中，形成SAW濾波器。然后進(jìn)行測(cè)試，包括頻率響應(yīng)、帶寬、衰減等性能指標(biāo)的測(cè)試。

3、SAW濾波器的應(yīng)用

SAW濾波器具有高品質(zhì)因數(shù)、低損耗、高可靠性、體積小等優(yōu)點(diǎn)，因此在無(wú)線通信、雷達(dá)、電視、音頻等領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用。

（1）無(wú)線通信

在無(wú)線通信中，SAW濾波器主要用于頻率選擇性放大器（FSA）和頻率合成器（PLL）等模塊中，用于濾除雜散信號(hào)和保證信號(hào)質(zhì)量。SAW濾波器還可以用于調(diào)制解調(diào)器（Modem）中，用于濾除噪聲和保證信號(hào)的穩(wěn)定性。

（2）雷達(dá)

在雷達(dá)中，SAW濾波器主要用于接收機(jī)中，用于濾除雜散信號(hào)和保證目標(biāo)信號(hào)的清晰度。由于SAW濾波器具有高品質(zhì)因數(shù)和低損耗的特點(diǎn)，所以在雷達(dá)中也有廣泛的應(yīng)用。

（3）電視

在電視中，SAW濾波器主要用于調(diào)制解調(diào)器中，用于濾除雜散信號(hào)和保證圖像的清晰度。SAW濾波器還可以用于音頻處理中，用于濾除噪聲和提高音頻質(zhì)量。

（4）音頻

在音頻領(lǐng)域，SAW濾波器主要用于音頻處理中，用于濾除噪聲和提高音頻質(zhì)量。SAW濾波器可以用于音頻放大器中，用于濾除雜散信號(hào)和保證音頻的清晰度。

總之，SAW濾波器是一種重要的聲波濾波器，它利用表面聲波的傳輸特性，通過設(shè)定合適的諧振頻率和帶寬來(lái)實(shí)現(xiàn)濾波功能。SAW濾波器具有高品質(zhì)因數(shù)、低損耗、高可靠性、體積小等優(yōu)點(diǎn)，在無(wú)線通信、雷達(dá)、電視、音頻等領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用。