對于傾角計等應用，加速度計的直流響應是目標信號，因為應用需要檢測靜態加速度計輸出的微小變化。在大多數應用中，例如平臺穩定、井下定向鉆井、起重機穩定系統，以及在建筑行業中用于道路平地機和測量設備的調平，傾斜度變化可以假設是準靜態的，因為傾斜變化所涉及的時間尺度通常遠小于加速度計的帶寬。然而，在振動監測和結構健康監測（SHM）等應用中，加速度計的交流響應也變得很重要，因為目標信號可能具有功率分布在很寬頻率范圍內的頻譜。

由于振動是周期性的，頻譜分析提供了一種表征振動曲線（振動、幅度和頻率之間的關系）的便捷方法。每個移動設備都有自己的振動曲線，頻譜音通常代表設備的自然共振頻率。了解加速度計的靈敏度頻率響應，例如，靈敏度如何隨施加的輸入振動頻率變化，對于將加速度計輸出的頻率內容從電壓PSD [V/√Hz]縮放到加速度PSD [g/√Hz]是必要的。ADXL354和ADXL355是全新低噪聲、低功耗MEMS加速度計系列的一部分，支持結構健康監測等低振動水平監測應用。本文討論了這些加速度計的交流響應，以及在決定此類應用中是否需要校準加速度計輸出時應考慮的因素。

影響交流響應的因素

ADXL354和ADXL355加速度計均采用模擬低通抗混疊濾波器來降低帶外噪聲。模擬抗混疊濾波器是一個sinc3濾波器，提供大約1.5 kHz的固定帶寬（3 dB轉折）。這限制了ADXL354和ADXL355的帶寬，此外，還會濾除ADXL355內部20位?-Δ模數轉換器（ADC）的混疊噪聲。ADXL355還集成了一個額外的數字濾波器級，該級由一個低通抽取濾波器和一個可旁路高通濾波器組成。所有這些濾波器級的組合定義了這些器件的交流響應。這些濾波器級可有效衰減ADXL354和ADXL355在3 dB轉折之外的靈敏度。ADXL354和ADXL355中使用的MEMS傳感器在X軸和Y軸上的諧振頻率約為2.5 kHz，在Z軸上的諧振頻率約為2.1 kHz，從而使傳感器諧振頻率周圍的靈敏度產生諧振增強。

交流靈敏度測量

執行正弦掃描振動測試以評估傳感器的頻率響應。加速度計用螺栓固定在固定裝置上，并安裝在Unholtz-Dickie 20型振動臺系統上。參考加速度計（PCB 320B14）與Endevco 133型信號調理器一起用于校準振動臺激勵。對于ADXL354，振動研究VR9500用作振動控制器和數據采集系統。ADXL355 使用 NI PCI 7850R 作為 數據 采集 系統。正弦振動信號的頻率從30 Hz掃描到5 kHz。在執行測量后，加速度計的安裝會發生變化，以使不同的靈敏度軸與振動臺系統的振動軸對齊。

ADXL354

這些器件在±8 g范圍內工作，使用上一節中描述的設置，正弦振動上的峰值激勵為1 g。ADXL354靈敏度的頻率響應（歸一化為直流靈敏度）如圖1所示。從圖中可以推斷，由于模擬抗混疊濾波器，諧振增強和衰減的組合將平坦帶（與直流±5%的變化）限制在大約1.3 kHz。例如，X軸和Y軸的+3 dB頻率轉折，靈敏度是直流靈敏度的兩倍，約為2.1 kHz。Z軸傳感器的品質因數低于X軸和Y軸傳感器，因此，在任何頻率下，交流靈敏度都不等于直流靈敏度的兩倍。Z軸傳感器的最大靈敏度是在其共振頻率下。

圖1.ADXL354靈敏度與振動頻率的關系

ADXL355

使用上述設置，這些部件在±8 g范圍內工作，正弦振動的峰值激勵為5 g。對于4 kHz的ODR選擇，ADXL355靈敏度的頻率響應如圖2所示。這些圖顯示了所有頻率下的靈敏度，歸一化為直流時的靈敏度。由于ADXL355中實現了額外的數字濾波，平坦帶寬受到用戶編程ODR（帶寬= ODR/4）的限制。在此處顯示的圖中，4 kHz的ODR選擇產生約1 kHz的–3 dB轉折。器件共振周圍頻率的振動將遇到靈敏度的共振增強。

圖2.ADXL355靈敏度與振動頻率的關系

校準

ADXL354和ADXL355的直流靈敏度保證在標稱值的±8%范圍內。如果未校準直流靈敏度，則直流加速度測量中的最大誤差為8%。如果需要更高的精度，可以通過對器件施加已知的輸入加速度，通過測量每個軸至少兩個值來實現直流靈敏度校準。執行此類校準的最簡單方法是沿每個軸將兩個方向（正和負）定向到1 g重力場。1

ADXL354中的交流靈敏度變化主要取決于諧振頻率和品質因數的變化。這些參數的變化通常非常小，受過程變化的支配。多個器件的頻率變化通常小于2%，器件之間的Q變化通常小于10%。圖3顯示了兩個Q和諧振頻率差異很大的ADXL354器件（X軸）的比較。抗混疊濾波器與諧振的組合導致2 kHz時的歸一化交流靈敏度，兩個器件的歸一化交流靈敏度分別為1.63和1.74，相差約6%。因此，如果加速度計在2 kHz時檢測到100 m g的振動，Q值較高，則另一個加速度計將報告與94 mg相同的信號。在特定頻率下振動成分的絕對精度很重要的應用中，建議使用精密振動臺進行額外的交流校準。

圖3.ADXL354器件間靈敏度變化與振動頻率的關系

總之，校準或不校準加速度計的決定取決于感興趣的信號。適用于需要監測絕對幅度的振動監測和結構健康監測應用 振動諧波頻率，需要額外的校準。在旨在跟蹤自然振蕩、幅度和頻率的相對變化的應用中，ADXL354和ADXL355加速度計可以與基線測量一起使用，無需額外校準。

審核編輯：郭婷