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基于三重采樣Δ-Σ ADC的數字電容式MEMS麥克風

MEMS ? 來源:MEMS ? 作者:MEMS ? 2022-10-17 16:02 ? 次閱讀

據麥姆斯咨詢報道,韓國首爾國立大學(Seoul National University)開發了一種基于三重采樣Δ-Σ ADC的數字電容式MEMS麥克風,其中的讀出電路采用0.18μm CMOS工藝制造,面積為0.98mm2,在94dBSPL、520μA電流消耗下,A加權信噪比(SNR)為62.1dBA,三重采樣可提高4.5dBA的信噪比。

MEMS麥克風已經成為智能手機和平板電腦的標配,也廣泛應用于汽車和醫療設備中。與駐極體電容式麥克風(ECM)相比,MEMS麥克風更易于集成、更可保證性能一致性且尺寸更小。電容式MEMS麥克風由于其具有低噪聲性能、更高的靈敏度和更平坦的頻率響應,比壓電式MEMS麥克風更受青睞。具有差分MEMS換能器的MEMS麥克風可提供更大的動態范圍,與單端MEMS換能器相比,往往更昂貴,也更難制造。

噪聲和靈敏度是MEMS麥克風設計中的巨大挑戰。為了提高靈敏度,需要更高的直流(DC)偏置電壓、更小的寄生電容、更大的MEMS電容變化和前置放大增益。然而,提高驅動換能器的電荷泵的MEMS DC偏置電壓會降低失真性能,并且不可能無限地提高DC偏置電壓。而MEMS換能器電容變化和寄生電容超出了讀出集成電路(ROIC)設計者的控制范圍。在ADC之前引入前置放大器是提高靈敏度的簡單方法,但前置放大器需要額外的功耗和噪聲預算。可編程增益嵌入式Δ-Σ ADC可以降低前置放大器的功耗及其產生的噪聲量,但這種ADC需要額外的采樣電容器和驅動能力。

在本項工作中,研究人員使用三重采樣Δ-Σ ADC,在不改變采樣和積分階段時間的情況下,有效滿足了電容器和其它元件的要求。此外,結合現有方法,這種三重采樣ADC具有任何有理數的嵌入式增益,因此可編程增益放大器(PGA)是可去除的。基于此,研究人員設計了一種基于三重采樣Δ-Σ ADC而非PGA的數字電容式MEMS麥克風。

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本項研究工作開發的MEMS麥克風架構

研究人員開發的MEMS麥克風讀出電路采用0.18μm CMOS工藝制造。在性能測試實驗中,通過一個參考麥克風(持續輸出94dBSPL的1kHz信號)設置揚聲器和MEMS麥克風之間的距離,使用Audio Precision AP2722分析儀進行測試。Audio Precision AP2722分析儀向揚聲器提供1kHz正弦波,使揚聲器在麥克風處產生1Pa(或94dBSPL)的聲壓。在電荷泵電壓設置為約8V的情況下,不采用三重采樣時,MEMS麥克風的靈敏度為-40.5dBFS,信噪比為57.6dBA。采用三重采樣時,其靈敏度為-28.4dBFS,信噪比為62.1dBA。雖然熱噪聲增加,但是信號功率增加更大,使得信噪比提高4.5dB。

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MEMS麥克風的顯微照片和測試裝置

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對于94dBSPL 1kHz正弦波輸入,在(a)不使用三重采樣ADC和(b)使用三重采樣ADC的情況下測量MEMS麥克風的功率譜密度

簡而言之,研究人員提出了一種基于三重采樣Δ-Σ ADC而非PGA的數字電容式MEMS麥克風。這種設計提高了信號增幅,并有效使用了采樣電容器和DAC電容器,從而提高了信噪比。所開發的MEMS麥克風信噪比為62.1dBA,讀出電路面積為0.98mm2,在1.8V下消耗電流為520μA。

審核編輯:郭婷

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原文標題:基于三重采樣Δ-Σ ADC的數字電容式MEMS麥克風,可有效提高信噪比

文章出處:【微信號:MEMSensor,微信公眾號:MEMS】歡迎添加關注!文章轉載請注明出處。

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