慣性開關是一種利用慣性力來實現開關功能的傳感器，是將機械和電子統一結合的產物。最早的慣性開關被用來關閉電動燃油泵，避免燃油泵在發生碰撞或翻轉后繼續工作。但是，傳統的機械慣性開關由于閾值精度比較差，可靠性比較低，在很大程度上限制了慣性開關的應用。 隨著傳感器微型化趨勢的增長，MEMS慣性開關的研發受到了更大的重視。MEMS慣性開關又稱為沖擊傳感器、閾值開關、加速度開關，是一種無源電子器件，集傳感器與執行器為一體，具有尺寸小、制造成本低、可批量生產等多種優點，在汽車電子、物聯網和消費電子等領域有著廣泛的應用前景。由于慣性開關具有在未觸發狀態時待機功耗為零的特點，其在遠程監控等電量有限的應用場景下有著明顯的優勢。例如，可將MEMS慣性開關附著到可穿戴的衣物上面，在人摔倒時開關閉合，可觸發無線報警系統，以便及時通知醫院采取救治。 MEMS慣性開關作為一種“近零功耗”的傳感器件，也可以用來監測特殊貨物運輸過程中可能發生的沖擊碰撞。在貨物的運輸過程中，一旦環境受到超過其閾值水平的振動沖擊時，慣性開關能夠實現瞬間機械閉合，輸出接通脈沖信號，然后無線發送到信息控制中心，以實現對整個物流過程得實時監控。

那么，何為閾值？“閾”的意思是界限，故閾值又叫臨界值，是指一個效應能夠產生的最低值或最高值。閾值在自動控制系統中能產生一個校正動作的最小輸入值，刺激引起應激組織反應的最低值。由此可見，對慣性開關閾值的準確測定，對于MEMS慣性開關的靈敏度和穩定性有非常大影響。

對于靜態閾值，智芯傳感提出了兩種不同的試驗方法：

（1）

（2）

在“慣性沖擊開關閾值的試驗方法”中，智芯傳感不僅對靜態閾值的測量試驗方法給出了解決方案，還對動態閾值也給出了試驗步驟和方法，由于篇幅所限，不再做詳細介紹。如有需要，請參見www.iec.ch/members_experts/refdocs 近年來，智芯傳感在MEMS傳感器理論與實踐方面建樹頗豐，不僅在擅長的壓力傳感器細分領域有深入的研究與創新，而且在其他相關領域亦有所突破，已成為國內MEMS傳感器的佼佼者之一。

審核編輯 黃昊宇