氣體流量表示在單位時間內氣體通過一定截面積的量。氣體流量的測量和流量控制是計量科學技術的組成部分之一，在工業生產、科學研究、環境保護、能源儲運核算、國防結算等諸多方面發揮著不可或缺的作用。

小微氣體流量測量技術廣泛應用于航空航天、半導體加工、醫療生物、電子汽車等行業。在航空航天領域，流量可以認為是評價發動機整機或部件性能的重要參數之一。航空發動機是一種結構、氣動力和熱力都相當復雜的動力裝置，其流量測試在航空發動機測試工作中有著極其重要地位。航空發動機試驗測試中高精度的氣體流量測試是具有挑戰性的，特別是中小型航空發動機流量測試中的很多氣體流量測量，范圍在幾十克每秒以內甚至是零點幾克每秒以內的小流量的范圍，同時氣流的壓力、溫度變化范圍也很大。因此，提高航空發動機氣體小流量測量精度有著極其重要的意義。

在保護環境和生態平衡中，必須對江河湖海進行水質檢測和大氣監測，這就需要測量污水或空氣的流量；在醫療生物領域，藥物的輸送、微芯片點樣、血流量測定等都對小微流量的測量提出了更高的要求。

隨著氣體小流量測試技術研究的深入，高精度、高可靠的氣體小流量標準裝置也不斷發展。但是由于氣體小流量測量的復雜性和挑戰性，目前氣體小流量測量的精確度和質量仍然不能滿足需求，特別是小微流量的中高壓計量標準缺乏，并且因為氣體沒有固定的體積形態，與體積標準進行比較，受環境溫度以及氣體壓力的限制較大。

我國小微氣體流量計量標準技術發展空間大。首先，我國小微氣體流量計量基準覆蓋面不足。無論是最小流量值還是不確定度值，我國小微氣體流量基準與德國、美國、日本、韓國等均存在顯著差距。

審核編輯：符乾江