微訪談：memsstar總經理Tony McKie

采訪背景：來自蘇格蘭利文斯頓的memsstar是一家擁有超過十五年MEMS設備經驗的公司。自從2004年進入MEMS領域，memsstar專注于研發MEMS刻蝕和沉積工藝設備，并獲得全球市場認可。memsstar干法釋放刻蝕工藝是非常有競爭力的技術，可以消除濕法工藝造成的結構黏附問題。因此，memsstar干法刻蝕設備譽滿全球，銷售地區涵蓋美國、歐洲、日本、中國大陸和臺灣地區。近期，麥姆斯咨詢采訪了memsstar總經理Tony McKie先生，了解公司的最新進展情況。

麥姆斯咨詢：您好，首先請您給大家介紹一下memsstar在MEMS領域的技術實力，以及近期取得的進展。

答：memsstar技術重心是開發應用于剝離（Lift-off）的干法蝕刻和表面涂層工藝，這是制造MEMS器件的最后一步。蝕刻用于剝離出MEMS器件的運動部分，涂層則用于保護MEMS器件。

我們與研究伙伴合作開發MEMS工藝，然后將這些工藝集成到MEMS設備之中，從而實現將實驗室成果轉化為量產產品。例如，我們與德國Fraunhofer（弗勞恩霍夫）研究所合作開發使用非晶硅（a-Si）作為MEMS器件構造的犧牲層。

我能想到的近期最大成就是“毫發無損地”度過了2020年。在新冠疫情和英國脫歐的雙重夾擊下，我們不得不處理眾多供應鏈問題：由于疫情，邊境被關閉；由于英國脫歐，往來歐洲的貨物不能再自由流通。這兩種情況都大大延長了我們的生產交貨周期。

我們在2020年的諸多計劃都無法實施。對任何中小型企業來說，在部分業務歸零之后再將其恢復都是一項重大成就。我們可以很自豪地說，memsstar能夠留住所有員工，這本身就是2020年的一項重大成就。

麥姆斯咨詢：目前，memsstar可以提供哪些MEMS設備？有哪些典型客戶？

答：memsstar設計、開發和制造干法蝕刻和沉積工藝設備，讓我們的客戶能夠將實驗室成果轉化為實際量產產品。我們的干法釋放刻蝕工藝是非常有競爭力的技術，可以消除濕法工藝造成的結構黏附問題。我們的典型客戶包括大學、研究所、IDM廠商和MEMS代工廠，銷售地區涵蓋美國、歐洲、日本、中國大陸和中國臺灣。

麥姆斯咨詢：除了MEMS設備，memsstar還可以為全球MEMS產業提供哪些服務？

答：雖然我們提供的產品是MEMS設備，但那只是我們技術和工藝的載體。我們的MEMS設備中包含的先進MEMS工藝經驗和知識，并且我們團隊還專注于可能在10~15年之后才能商業化的下一代MEMS工藝和設備，這將支持未來MEMS產業發展。

麥姆斯咨詢：在MEMS刻蝕技術方面，請您比較一下干法刻蝕與濕法刻蝕的優劣勢。

答：如果MEMS器件構造簡單，僅需滿足基本要求，那么使用濕法蝕刻即可。但是MEMS器件已不再“物美價廉”。如今的MEMS器件在過去幾年取得了顯著的進步，因此，產量成為達到允許消費類大批量應用價格的主要因素。

盡管濕法蝕刻比干法蝕刻更簡單、更便宜，但是干法蝕刻具有許多優勢，例如材料兼容性、更優的工藝控制和更高的產量。濕法刻蝕工藝采用酸性溶液，因此并不總是與用于構建MEMS結構的材料相兼容。干法刻蝕工藝有利于多種材料的集成，這一點很重要，因為有更多元素周期表中的化學元素會被用于MEMS器件，例如，鋁與濕法蝕刻不兼容，但不受干法蝕刻的影響。

麥姆斯咨詢：在干法刻蝕方面，memsstar如何把控工藝變量，以幫助客戶達到期望的刻蝕效果。

答：我們的MEMS設備設計、開發和制造工藝控制的一大優勢是我們可以精準控制每項工藝變量，包括壓力、氣體流量和溫度。我們的客戶可以校準設備的每個變量，使其能夠為開發各類MEMS器件提供最佳的性能。

麥姆斯咨詢：另外，請談談你們的干法蝕刻工藝對材料的兼容性問題，是否可以給大家一張常用材料清單？

答：MEMS沒有所謂的常用材料清單，它取決于具體用途。元素周期表中越來越多的元素被用于MEMS研究及產品開發。這就是為什么MEMS設備兼容性如此重要。多年來，我們一直致力于發展制造技術來增強與所有材料的工藝兼容性。我們不希望工藝成為MEMS設計人員的限制，而是希望他們能夠設計自己想要的東西。這是memsstar一直在做的事情。因此，我們相信我們的MEMS設備比世界上任何商用系統都具備更強的工藝兼容性。

麥姆斯咨詢：您認為在下一個十年，MEMS制造領域面臨的機遇及挑戰有哪些？

答：MEMS制造在近期面臨的最大挑戰之一是因新冠疫情而造成的供應鏈中斷，它正在影響整個制造流程。另一項普遍的挑戰是，隨著下一代MEMS器件變得越來越復雜，研發成本也在不斷增加，這將導致更廣泛的市場和產品差異化的增加。

隨著MEMS制造商增加專用生產線來支持產品差異化，我們看到了開發可適配工藝的機會，以便使MEMS設備能夠被用于支持幾代MEMS產品研發，從而有助于降低成本。

麥姆斯咨詢：現在，我們已經看到利用12英寸MEMS制造線生產超聲波換能器，您預計12英寸MEMS制造線何時能夠大范圍“紅火”起來？

答：300mm晶圓的工藝設備成本遠遠超過了增加產能帶來的好處，所以MEMS在300mm時運行并不劃算——因為它更貴。與CMOS相比，MEMS產量要低得多，因此額外晶圓面積的潛在附加值就喪失了。

但是，有兩種方式能讓300mm的MEMS生產線變得有意義。一種是將MEMS器件集成于CMOS器件頂部，這需要在一條300mm的CMOS生產線上完成。第二種是當300mm生產線達到冗余，需要重新利用以保持其價值。正如200mm晶圓廠在成為半導體制造業的冗余時被用于MEMS制造一樣，300mm晶圓廠也會如此。

麥姆斯咨詢：在MEMS領域，memsstar未來會推出哪些新設備？

答：目前，我們沒有在可預見的未來推出任何新設備的計劃，我們的重點是一貫的工藝開發，以滿足客戶的新需求。雖然我們為300mm晶圓的工藝設備進行了前期設計，但我們只會在需要的時候與客戶合作開發該設備。

麥姆斯咨詢：突如其來的新冠疫情對memsstar產生了哪些影響？你們如何應對？

答：新冠疫情最大的影響是對我們需要人際交流互動的部分業務的影響。邊境封鎖限制了我們啟動新系統和為客戶提供現場支持的能力。我們嘗試使用虛擬現實（VR）解決方案來緩解該問題，但由于安全問題，以及無法在無塵車間內維持Wi-Fi信號，這一方案變得復雜起來。此外，我們設法通過視頻會議和電子郵件提供支持，但這也具有挑戰性。

從整體來看，這是不錯的一年。但我們期待世界能夠重新開放，希望疫苗能夠幫助改善目前的情況。我們的工作正在逐步開展，當邊境開放時，我們將盡快履行對客戶的義務。

麥姆斯咨詢：最后，請問memsstar在資本市場上是否有動作，比如融資、上市等計劃。

答：我們是一家私有公司，目前沒有上市或尋求融資的計劃。

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