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華潤微電子的特色工藝技術發展現狀如何?

我快閉嘴 ? 來源:愛集微 ? 作者:楊雪嬌 ? 2020-12-11 15:45 ? 次閱讀

12月10日-11日,第26屆中國集成電路設計業2020年會暨重慶集成電路產業創新發展高峰論壇ICCAD 2020)在重慶召開。本土規模最大的功率半導體企業——華潤微電子受邀參加此次ICCAD,其代工事業群和封測事業群在現場設置展臺,展示最新成果。

其中,華潤微電子代工事業群展示了六大特色模擬晶圓代工工藝,分別是高壓功率BCD、高性能BCD、高可靠性BCD、高精度模擬、MEMS、特色功率器件。重點介紹了規模化CMOS MEMS工藝平臺以及6英寸+8英寸全系列的BCD工藝平臺,公司同時提供高性價比的600V HVIC工藝代工。

封測事業群重點展示了封裝集成能力,通過先進扇出型面板級封裝,可以替代現有FCQFN/FCDFN、WLCSP、BGA、LGA等封裝的同時,還延伸出了多種封裝方案。

值得一提的是,12月11日,在ICCAD高峰論壇上,華潤微電子代工事業群研發助理總經理張森作了題為“深耕特色工藝引領智能傳感——華潤上華特色工藝技術發展介紹”的主題演講,為與會嘉賓詳細介紹華潤上華的特色工藝及技術水平。

目前,華潤微電子主要有四大事業群,包括代工事業群、集成電路事業群、封測事業群和功率器件事業群。其中,代工事業群由晶圓代工(華潤上華)+掩模代工(迪思)組成。

張森介紹,華潤上華自成立以來便與IC設計業共同成長,目前80%銷售額來自國內客戶,多家合作客戶在近幾年實現了上市。能夠在國內市場中長驅直入,與其自成立以來持續發力特色工藝密不可分。

“為滿足國內熱點市場應用需求,華潤上華持續研發具有競爭力的工藝技術。”張森表示,目前已經逐漸形成六大特色工藝組合拳,包括高壓功率BCD工藝技術、高性能BSD工藝技術、高可靠性BCD工藝技術、高精度模擬工藝技術、MEMS工藝技術以及特色功率器件工藝技術。

其中,超高壓BCD工藝已經深耕超高壓十余載,具有自主知識產品的500—700V BCD工藝平臺以及600V HVIC系列平臺,面向三大市場應用,包括適配器、LED照明和大功率電源等。

在0.18um BCD工藝方面,經過多次迭代,目前已達到業界先進水平,核心器件NLDMOS性能與國際Top-player相當,并可以提供Embedded–NVM IP選項。主要面向五大市場應用,包括DC/DC轉換器LDO低壓差線性穩壓器新能源汽車電源管理系統BMS、Audio以及POE交換機

HV SOI工藝則是國內唯一的HV SOI工藝量產平臺,填補了國內的空缺。張森表示,HV SOI工藝生產線的建立,為解決國家短板發揮應有的作用,在汽車電子、高端工業醫療電子等應用領域具有良好的市場前景。

近年來,隨著消費電子物聯網的發展驅動,MEMS傳感器產品市場應用逐漸擴大。目前,華潤上華可以提供6英寸及8英寸MEMS加工平臺,已加工或研發產品涉及硅麥克風、壓力傳感器光電傳感器、加速度計、微鏡、氣體傳感器等多種門類,累計量產逾15萬片6英寸晶圓。

“未來,華潤上華將繼續聚焦于模擬功率及智能傳感半導體制造,深耕模擬功率與智能傳感產品市場,助力中國半導體市場成長。”張森表示,華潤上華將持續發展新結構、新器件技術,升級先進BCD、UHVBCD器件性能,增強高壓高可靠性工藝技術競爭力,擴大工控及車用領域占比;持續投入研發,保持壓力、麥克風、光電等MEMS平臺的技術優勢,拓展新的MEMS產品門類。

資料顯示,華潤微電子是國內領先的集芯片設計、晶圓制造封裝測試等全產業鏈一體化經營能力的半導體企業,產品聚焦于功率半導體、智能傳感器與智能控制領域,為客戶提供豐富的半導體產品與系統解決方案。
責任編輯:tzh

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