IT之家3月6日消息據羊城晚報報道，3月4日早上8點不到，中芯國際集成電路制造（深圳）有限公司從從荷蘭進口的一臺大型光刻機順利通過出口加工區場站兩道閘口進入廠區，這臺機器主要用于企業復工復產后的生產線擴容。

截至3月4日，深圳出口加工區內企業復工復產率已達90%。據IT之家了解，深圳海關已全面推廣進出口貨物“提前申報”通關模式，進口覆蓋所有企業，出口只要是一般信用以上企業都可以按“提前申報”模式報關。

中芯國際表示，坪山海關一系列服務措施，保障設備第一時間進入廠區完成安裝進入生產，生產線擴容后全年預計可為企業增加10%左右的營收。

對于產業內的人士來說，光刻機是最重要的核心內容之一，目前全世界最先進工藝的光刻機壟斷集中在荷蘭ASML、日本佳能、尼康手里。

IT之家獲悉，光刻機作為集成電路制造中最關鍵的設備，對芯片制作工藝有著決定性的影響，被譽為“超精密制造技術皇冠上的明珠”，制造和維護均需要高度的光學和電子工業基礎。光刻機工作原理跟照相機類似，不過它的底片是涂滿光刻膠的硅片，各種電路圖案經激光縮微投影曝光到光刻膠上，光刻膠的曝光部分與硅片進行反應，將其永久刻在硅片上，這就是芯片生產最重要的步驟。