高級設計活動關注特定導通電阻領域，將其作為給定技術的主要基準參數。但是，必須在電阻和開關損耗等主要性能指標與與實際電力電子設計相關的其他方面（例如足夠的可靠性）之間找到適當的平衡。

設備設計理念

一個合適的設備概念應該允許一定的設計自由度，以便適應各種任務配置文件的需求，而無需對處理和布局進行重大更改。然而，關鍵性能指標仍將是所選設備概念的低面積比電阻，理想情況下與其他列出的參數相結合。圖 1 列出了一些被認為必不可少的參數，可以添加更多參數。

圖 1：必須與 SiC MOSFET 的性能指標（左）平衡的選定參數（右）

最重要的驗收標準之一是設備在其目標應用的操作條件下的可靠性。與已建立的硅器件世界的主要區別在于 SiC 組件在更高的內部電場下工作。相關機制需要仔細分析。它們的共同點是器件的總電阻由漏極和源極處的接觸電阻串聯定義，包括靠近接觸的高摻雜區域、溝道電阻、JFET 區域的電阻以及漂移區電阻（見圖2）。請注意，在高壓硅 MOSFET 中，漂移區明顯占主導地位。在 SiC 器件中，部件可以設計為具有顯著更高的導電性，如上所述。

圖 2：平面 DMOS SiC MOSFET（左）和垂直溝槽、TMOS SiC MOSFET 的示意圖，以及電阻相關貢獻的相應位置

關于關鍵的 MOSFET 元件，即 SiC-SiO 2界面，必須考慮與硅相比的以下差異：

與 Si 相比，SiC 具有更高的單位面積原子表面密度，導致懸掛的 Si- 和 C- 鍵密度更高；位于界面附近的柵氧化層中的缺陷可能會出現在能隙中，并充當電子的陷阱［1］。

熱生長氧化物的厚度很大程度上取決于晶面。

與 Si 對應物（MV 而不是 kV）相比，SiC 器件在阻塞模式下工作在更高的漏極感應電場，這需要采取措施限制柵極氧化物中的電場，以保持氧化物在阻塞階段的可靠性 ［2 ］。另請參見圖 3：對于 TMOS，臨界點是溝槽角，對于 DMOS，臨界點是單元的中心。

由于勢壘高度較小，SiC MOS 結構對于給定的電場顯示出比 Si 器件更高的 Fowler-Nordheim 電流注入。因此，必須限制界面 SiC 側的電場 ［3，4］。

上述界面缺陷導致溝道遷移率非常低。因此，它們導致通道對總導通電阻的貢獻很大。因此，由于高溝道貢獻，SiC 相對于硅的漂移區電阻非常低的優勢被削弱了?？朔@種困境的一種觀察方法是增加在導通狀態下施加在氧化物上的電場，或者用于導通的更高柵極源極 （V GS ） 偏壓或相當薄的柵極氧化物。施加的電場超過了硅基 MOSFET 器件中通常使用的值（4 到 5 MV/cm 對 3 MV/cm 在硅中的最大值）。在導通狀態下，氧化物中如此高的場可能會加速磨損，并限制篩選剩余外在氧化物缺陷的能力 ［1］。

圖 3：左：平面 MOSFET（半電池）的典型結構，顯示了兩個與氧化物場應力相關的敏感區域。右圖：溝槽 MOSFET（半電池）的典型結構，關鍵問題是溝槽拐角處的氧化物場應力。

基于這些考慮，很明顯，SiC 中的平面 MOSFET 器件實際上有兩個關于氧化物場應力的敏感區域，如圖 3 的左側部分所示。首先，在最高電場區域中討論的反向模式中的應力靠近漂移區和柵氧化層的界面，其次是在導通狀態下受應力的柵源重疊。

導通狀態下的高電場被認為更危險，因為只要必須保證導通電阻性能，就沒有設備設計措施可以降低導通狀態期間的場應力。英飛凌的總體目標是結合低 R DSon由 SiC 提供的一種工作模式，其中部件在眾所周知的安全氧化物場強條件下運行。因此，決定放棄 DMOS 技術，從一開始就專注于基于溝槽的器件。從具有高缺陷密度的平面表面向其他更有利的表面方向移動，可以在低氧化物場下實現低溝道電阻。這些邊界條件是轉移硅功率半導體世界中建立的質量保證方法的基準，以保證工業和汽車應用中預期的 FIT 率。

圖 4：CoolSiC? MOSFET 單元結構示意圖

CoolSiC? MOSFET 單元設計旨在限制柵極氧化物在導通狀態和關斷狀態下的電場（見圖 4）。同時，為 1200 V 等級提供了有吸引力的特定導通電阻，即使在大規模生產中也能以穩定和可重復的方式實現。低導通電阻確保驅動電壓水平僅為 V GS= 15 V 與通常 4.5 V 的足夠高的柵極-源極閾值電壓相結合，是 SiC 晶體管領域的基準。該設計的特殊功能包括通過自對準工藝將通道定向為單晶取向。這確保了最高的溝道遷移率和窄閾值電壓分布。另一個特點是在中心與實際 MOS 溝槽相交的深 p 型溝槽，以便允許窄的 p+ 到 p+ 間距尺寸，以有效屏蔽下氧化層角。

靜態性能——第一象限操作

MOSFET 靜態輸出特性的關鍵參數是總電阻 R DS（ON）。CoolSiC? MOSFET 的典型導通電阻是在室溫和 V GS = 15 V 時定義的（圖 5，左） 。 閾值電壓 V GS_TH遵循器件的物理特性，并隨溫度下降，如右側圖 5 所示。

圖 5：室溫和 175°C（左）的 CoolSiC? MOSFET 輸出特性（例如 45 mOhm 1200 V 型）以及 Ron 和 VGS_TH 對溫度的依賴性（右）

作為低通道缺陷密度的結果，導通電阻的正溫度系數（圖 5，右）使器件注定要并聯使用。這是與 DMOS 器件的另一個顯著差異，由于溝道中缺陷的高密度，DMOS 器件通常表現出較弱的電阻對溫度的依賴性。

圖 6：MOSFET 導通電阻隨溫度變化的主要行為，Si 和 SiC 之間的比較以及阻斷電壓的影響

這個 DMOS “功能” 乍一看很吸引人；然而，隨著降低導通電阻的進展，漂移區物理上合理的溫度依賴性將越來越多地主導總導通電阻。因此，SiC MOSFET 將變得更像硅。然而，應該注意的是，即使在成熟狀態下，由于更高的絕對摻雜密度，SiC MOSFET 的實際溫度系數也會低于相同阻斷電壓下的硅器件。此外，由于漂移區對總電阻的貢獻增加，導通電阻的溫度依賴性對于更高的阻斷電壓將更加明顯。定性行為總結在圖 6 中。

靜態性能——第三象限運行

與 IGBT 相比，CoolSiC? 器件等垂直 MOSFET 通過體二極管（實際上是續流二極管）提供反向導通。但是，由于 SiC 的帶隙，該二極管的拐點電壓較高（約 3 V），因此連續工作會導致高導通損耗。因此，必須使用眾所周知的同步整流概念。二極管僅作為二極管工作很短的死區時間（見上文）。在此期間之后，通過施加正 V GS再次打開通道（如在第一象限模式中）。

此操作方案在第三象限模式下提供非常低的傳導損耗，因為沒有拐點電壓可實現與第一象限模式下相同的電阻。事實上，電阻甚至略低，因為由于現在反向電流流動方向的負前饋影響，JFET 影響降低了。圖 6 說明了第三象限操作（不同柵極電壓的 IV 特性）。請注意，由于采用 pn 二極管結構，還可以獲得一定的脈沖電流處理能力（高于正向模式）。

圖 7：45 mOhm CoolSiC? MOSFET 的體二極管 IV 行為

動態性能

作為單極器件，SiC-MOSFET 的動態性能很大程度上取決于其電容。與輸入電容 C iss相比，該器件設計為具有較小的柵極漏極反向電容 C rss。這有利于抑制寄生導通，這可以防止在半橋配置中運行時使用復雜的柵極驅動器電路。許多 CoolSiC? MOSFET 產品即使在柵極電壓為 0 V 時也可以安全關閉，因為除了有利的電容比之外，閾值電壓也足夠高。圖 8（左）總結了作為溫度函數的總器件電容。

圖 8（右）顯示了半橋的典型開關損耗，其中單個器件安裝在 4 引腳 TO-247 外殼中，作為漏極電流的函數。關斷能量 E off僅略微取決于負載電流，因為它由容量決定，而開啟能量 E on隨電流線性增加，并在總損耗 E tot中占主導地位。根據 2019 年中期的情況，應該強調的是 CoolSiC? MOSFET在市售的 1200 V SiC MOSFET 中顯示出最低的 E on 。E開和 E關實際上與溫度無關。需要注意的重要一點是，實際外殼設計對開關損耗有重大影響，主要是導通損耗。特別有效的是使用開爾文觸點，它實際上將負載路徑與控制路徑在電流方面分開，因此有助于防止 di/dt 感應到柵極信號的反饋回路增加動態損耗。

圖 8：45 mOhm CoolSiC? MOSFET（左）和相關開關能量（右）與漏極電流（VGS = 15 / -5 V，RGext = 4.5 Ω， VDS = 800 V，Tvj =175°

通常，必須僅在某些封裝中實現具有低電容和柵極電荷的快速開關 SiC 晶體管。主要標準包括由于高損耗功率密度而導致的良好熱性能（當然，使用 SiC 會降低絕對損耗，但其余的都集中在非常小的區域）。另一個標準是低雜散電感，用于在沒有臨界電壓峰值的情況下管理高 di/dt 斜率。最后，特別是在多芯片封裝具有更多并行芯片的情況下，基于帶狀線概念 ［5］ 的對稱內部模塊設計是強制性的。當前提供此類功能的模塊封裝包括用于模塊的英飛凌 EASY 平臺，或用于分立式外殼的 TO247 系列，分別為 TO263-7。

CoolSiC? MOSFET 的柵極電荷曲線通常不同于硅功率器件的典型形狀；特別是，沒有明顯的米勒高原可見，如圖 9 左側所示。對于 I D = 30 A、V DS = 800 V 和 R G = 3.3 kΩ，在 V GS（off） =-5 V 至 V GS（on） = 15 V 時，總柵極電荷 Q tot通常為 75 nC 。

圖 9：45 mOhm 1200 V CoolSiC? MOSFET（左）的典型柵極電荷曲線和通過 Rg 控制開關速度（右）

在許多情況下，可能需要調整開關速度 （dv/dt） 以應對振蕩等問題。MOSFET 的一個好處是通過柵極電阻調整斜率的簡單方法。結合正確的驅動電路，甚至可能開啟和關閉不一樣。右側的圖 9 顯示了英飛凌 45 mOhm 1200 V CoolSiC? MOSFET 的相應行為。

圖 10 描繪了 TO-247 4 引腳和 TO-247 3 引腳中的 45 mOhm 1200 V CoolSiC? MOSFET 在 V DS = 800 V的直流電壓下的短路波形，這與 IGBT 有很大不同。最初，漏極電流迅速增加并達到峰值電流水平。由于采用開爾文源設計的快速開啟，TO-247 4 引腳電流上升更快，并且在 SC 事件開始時自發熱更少，峰值電流超過 300 A，而 TO-247 3-pin 具有較小的峰值電流。主要原因是 di/dt 對施加的 V GS產生負反饋在 3 針設備的情況下。由于開爾文連接解決方案消除了這種影響，從而實現了更快的開關，因此在飽和效應發生之前，4 引腳器件的電流也可以上升到更高的值。

在峰值電流之后，漏極電流顯著降低至約 150 A。這是由于載流子遷移率和 JFET 效應隨溫度升高和自熱而降低。測試波形顯示出清晰、穩健的行為，證明封裝的 TO-247 CoolSiC? MOSFET 和功率模塊具有典型的 3 μs SC 能力（根據相關目標應用要求，目前為 2 μs）。英飛凌的 CoolSiC? MOSFET 是數據表中第一款保證短路的器件。

圖 10：在 25°C 下作為持續時間函數的典型短路（左）；1200 V 器件的雪崩行為，在 60 V 時關斷 3.8 5mH 的非鉗位感性負載（右）

新的 650 V 級器件在數據表中附有雪崩額定值，以滿足目標應用電源的要求。總的來說，CoolSiC? MOSFET 技術在雪崩下表現出很高的耐用性；右側的圖 10 描繪了 1200 V 組件的典型行為

FIT 率和柵極氧化物可靠性

除了性能，可靠性和耐用性是 SiC MOSFET 討論最多的話題。堅固性被定義為設備承受某些異常應力事件的能力，例如短路性能或脈沖電流處理能力。可靠性涵蓋了器件在目標應用壽命期間在標稱操作條件下的穩定性。與可靠性相關的影響包括某些電氣參數的漂移或災難性故障。對于硬故障，通常以 FIT 率的形式進行量化，它實際上說明了在一定時期內允許某種類型的設備發生故障的數量。如今，大功率硅器件的 FIT 率主要受宇宙射線效應的支配。

在 SiC 的情況下，由于之前討論過的氧化物場應力，需要考慮柵極氧化物可靠性的額外影響。因此，如圖 11 所示，總 FIT 率是宇宙射線 FIT 率和氧化物 FIT 率之和。對于宇宙射線的穩定性，可以應用類似的方法，例如硅領域的典型方法。在這里，FIT 率是針對某類技術通過實驗獲得的，并根據結果，結合應用目標，可以實現滿足 FIT 率的設計，通常通過優化漂移區的電場分布來實現。 對于氧化物 FIT 率，需要應用篩選過程來降低 FIT 率，因為與硅相比，SiC 中的缺陷密度仍然相當高（在英飛凌的 Si 功率器件的情況下，

圖 11：SiC MOSFET 的 FIT 率構成

SiC MOS 器件的柵極氧化物可靠性面臨的挑戰是，例如，在工業應用中的給定操作條件下，保證最大故障率小于 1 FIT（就像今天的 IGBT 一樣）。由于 SiC 上的 SiO 2 和 Si 上的 SiO 2的固有質量和特性幾乎相同，因此相同面積和氧化物厚度的 Si MOSFET 和 SiC MOSFET 可以在相同的時間內承受大致相同的氧化物場（相同的固有壽命）。當然，這僅在器件不包含與缺陷相關的雜質（即外在缺陷）時才有效。與 Si MOSFET 相比，SiC MOSFET 在柵極氧化物中表現出更高的外在缺陷密度。

與沒有缺陷的設備相比，具有外在缺陷的設備故障更早。由于內在磨損，無缺陷設備將在很久以后失效。通常，如果體氧化層厚度足夠，則在正常應用條件下，固有故障時間要少得多。因此，典型芯片壽命內的氧化物 FIT 率完全由外在缺陷決定。

保證碳化硅 MOSFET 的柵極氧化物具有足夠可靠性的挑戰是，將受外在缺陷影響的器件數量從工藝結束時的初始高數量（例如 1%）減少到產品生產時可接受的低數量。運送給客戶（例如 10 ppm）。實現這一目標的一種行之有效的方法是應用電子屏蔽 ［2］。

在電氣屏蔽期間，每個器件都受到柵極應力模式的影響。選擇應力模式以破壞具有關鍵外在缺陷的器件，而沒有外在缺陷或僅具有非關鍵缺陷的器件能夠存活。未通過篩選測試的設備將從分發中刪除。這樣，潛在的可靠性風險就轉化為產量損失。

為了能夠在足夠高的應力水平下對器件進行應力測試，體柵氧化層需要具有指定的最小厚度。如果柵氧化層厚度太低，器件要么在篩選過程中因磨損而本質上失效，要么在篩選后顯示出降低的閾值電壓和溝道遷移率。因此，需要的標稱氧化物厚度遠高于實現有效柵極氧化物篩選的固有壽命目標通常所需的厚度。不幸的是，較厚的柵極氧化物會增加閾值電壓，并降低給定 V GS（on）下的溝道電導。柵極氧化物 FIT 率和器件性能之間的權衡如圖 12 所示，也在 ［6］ 中進行了討論。

圖 12：柵極氧化層厚度和柵極電壓對故障概率和通態特性的影響（650V 器件的 Rdson 數據）

英飛凌投入了大量時間和材料樣品，以全面了解 SiC MOSFET 的 MOS 可靠性。例如，我們在 150°C 下使用三個單獨的應力在不同的正負柵極應力偏置下運行了 100 天的電屏蔽 SiC MOSFET 的通態可靠性測試。每個樣品組由 1000 件組成。圖 13 顯示了不同柵極氧化物工藝條件的結果，勾勒出最終發布工藝的技術改進。使用初始處理條件，在推薦的 30 V 柵極偏置電壓的兩倍下，1000 個器件中只有不到 10 個發生故障。實施的技術進步將這個數字減少到在 30 V 時只有一個故障，在 25 V 和 -15 V 時為零故障。剩下的一個故障仍然是外部故障，

圖 13：不同工藝條件下通態故障率的評估

當然，由于 SiC 功率器件中的電場條件更接近 SiO 2的極限，除了通態氧化物可靠性之外，評估斷態氧化物應力也很重要比硅功率MOS元件。關鍵策略是通過適當設計深 p 區來有效屏蔽敏感氧化物區域。屏蔽的效率又是導通電阻和可靠性之間的權衡。在溝槽 MOSFET 的情況下，在 MOSFET 的溝道區下方形成類似 JFET 結構的深 p 區可以有效地促進屏蔽 ［7］。該 JFET 為導通電阻增加了一個附加分量，該分量主要取決于掩埋 p 區之間的距離和摻雜。這種屏蔽結構設計特性對于避免關斷狀態下的柵極氧化物退化或柵極氧化物擊穿至關重要。

為了驗證 CoolSiC? MOSFET 的斷態可靠性，我們在 150°C、V GS = -5 V 和 V DS = 1000 V 下對 5000 多個 1200 V SiC MOSFET 進行了 100 天的壓力測試。這些條件對應于工業應用任務剖面的最關鍵點。由于施加的漏極電壓相對于器件的擊穿電壓的限制，進一步加速非常困難。在更高的漏極電壓下運行測試會導致結果錯誤，因為其他故障機制（如宇宙射線引起的故障）將變得更有可能。結果是，在此斷態可靠性測試期間，所有測試設備均未出現故障。由于 650 V 器件遵循與 1200 V 器件相同的設計標準，因此預期具有相同的可靠性。

結論

CoolSiC? MOSFET 在開關行為和總損耗方面具有卓越的性能。亮點之一是可以以零柵極偏置關閉器件，這使得 CoolSiC? 晶體管概念成為唯一真正的“常關”器件眼下。

審核編輯：郭婷