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將非晶硅太陽能電池改造為光電折射氣體傳感器

2022年11月11日 09:43 MEMS 作者:麥姆斯咨詢殷飛 用戶評論(0

據(jù)麥姆斯咨詢報道,近日,由埃及米尼亞大學(Minia University)、西班牙馬德里大學(University Complutense of Madrid)、阿爾卡拉大學(University of Alcalá)、胡安卡洛斯國王大學(University Rey Juan Carlos)的研究人員組成的團隊在Scientific Reports期刊上發(fā)表了題為“Optoelectronic refractometric sensing device for gases based on dielectric bow-ties and amorphous silicon solar cells”的最新論文,通過添加介電蝴蝶結形諧振結構,研究團隊將非晶硅太陽能電池改造為光電折射氣體傳感器

當介電蝴蝶結形結構由SiO?制成時,提出的氣體傳感器的靈敏度為2.4×10?(mA/W)/RIU,品質(zhì)因數(shù)FOM=107RIU?1,這項研究成果為將等離子體折射傳感器納入更簡單、更緊湊的設計中奠定了基礎。

近三十年來,基于等離子體效應的光學傳感已經(jīng)在許多領域得到了應用。該技術已被證明可被用于材料鑒定、食品質(zhì)量保障、比色法、環(huán)境質(zhì)量測試或生物傳感等應用。專注于環(huán)境應用,需要高分辨率和高靈敏度器件來檢測極少量的大氣污染物,如碳氫化合物、揮發(fā)性有機化合物(VOC)、有害微生物等。

空氣質(zhì)量和成分的監(jiān)測可以通過測量其折射率來實現(xiàn),這也取決于其他物理參數(shù)(溫度和壓力)和大氣的化學成分(濕度、天然或人造樣本的存在)。因此,折射傳感器可以檢查某些預設條件是否滿足,或者已知樣本的濃度是否改變。

由于其狹窄的選擇性響應,基于表面等離子體共振(SPR)的光電器件環(huán)境監(jiān)測和傳感的解決方案之一。該技術可被應用于氣體傳感、折射率傳感和化學傳感。它們也可以包含在多功能和多參數(shù)傳感器中。等離子體傳感器可以從角度、光譜和光電三個方面進行解調(diào)。

當使用等離子體響應的角度依賴性時,該系統(tǒng)通常需要移動部件和高精度測角儀或昂貴的集成讀出系統(tǒng)。光譜解調(diào)也是如此:它需要在照明和/或探測臂中使用高分辨率單色儀。純光電解調(diào)方法得益于傳感器本身傳遞的電信號,而不需要移動部件和/或單色儀。這一事實簡化了解調(diào)子系統(tǒng),使傳感器更緊湊、更可靠。

太陽能電池可以被視為一種已經(jīng)制造好的低成本光探測器。盡管它被設計為寬光譜光伏探測器,但它可以很容易地通過納米結構超構表面產(chǎn)生的SPR激發(fā)而進行選擇性響應。

作為一個整體,這個定制器件成為了一個自供電的光電傳感器。有機和無機薄膜太陽能電池是低成本、輕量和緊湊型傳感器件的最佳選擇。其中,氫化非晶硅(aSiH)電池是一種采用多種、無毒和穩(wěn)定的材料的商用器件,并且價格相當實惠。

在本論文中,基于氫化非晶硅(aSiH),通過添加介電蝴蝶結形諧振結構,研究團隊將其改造為以光電解調(diào)的折射氣體傳感器。銦透明氧化物頂部電極被薄金屬層取代,以選擇性地防止光直接傳輸?shù)诫姵氐挠性磳印H缓螅瑢⒁唤殡姾Y形結構陣列置于該電極的頂部,以通過表面等離子體共振激活光學吸收。

整個器件暴露于被測分析物(周圍介質(zhì))中。他們選擇了三種不同的低、中和高折射率的介電材料作為蝴蝶結形結構,即氟化鎂(MgF?)、二氧化硅(SiO?)和氮化鋁(AlN)已被測試作為SPR激發(fā)的耦合結構。通過優(yōu)化這種結構的幾何參數(shù),他們實現(xiàn)了讀出/短路電流的最大化。

該設計針對氣體測量應用進行了定制,其折射率比1略高約10??。他們的分析表明,當介電蝴蝶結形結構由SiO?制成時,提出的光電折射氣體傳感器的超高靈敏度為2.4×10?(mA/W)/RIU,品質(zhì)因數(shù)FOM=107RIU?1。

與先前的文獻報道相比,其性能具有競爭力,而且還具有可以規(guī)避移動部件和光譜解調(diào)元件的額外優(yōu)勢。

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圖1(a)傳統(tǒng)和(b)提出的改造設計的aSiH薄膜太陽能電池的層狀結構
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圖2 本論文提出的光電折射氣體傳感器設計的三維示意圖

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圖3 光電折射氣體傳感器的性能

綜上所述,研究團隊提出的設計為利用光伏技術和超構表面的優(yōu)勢,將等離子體折射傳感器納入更簡單、更緊湊的設計中奠定了基礎。

論文信息

https://doi.org/10.1038/s41598-022-21299-w







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