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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。
微機電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。
微機電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
微機電系統(tǒng)是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機械結(jié)構(gòu)、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。MEMS是一項革命性的新技術(shù),廣泛應(yīng)用于高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),是一項關(guān)系到國家的科技發(fā)展、經(jīng)濟繁榮和國防安全的關(guān)鍵技術(shù)。
MEMS側(cè)重于超精密機械加工,涉及微電子、材料、力學(xué)、化學(xué)、機械學(xué)諸多學(xué)科領(lǐng)域。它的學(xué)科面涵蓋微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理、化學(xué)、機械學(xué)的各分支。
常見的產(chǎn)品包括MEMS加速度計、MEMS麥克風(fēng)、微馬達、微泵、微振子、MEMS光學(xué)傳感器、MEMS壓力傳感器、MEMS陀螺儀、MEMS濕度傳感器、MEMS氣體傳感器等等以及它們的集成產(chǎn)品。
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2025-04-09 標(biāo)簽:mems壓力傳感器國產(chǎn)替代 205 0
LIS2DU12超低功耗加速度計數(shù)據(jù)手冊和產(chǎn)品介紹
STMicroelectronicsLIS2DU12超低功耗加速度計是一款線性3軸加速度計,具有高級數(shù)字功能。 STMicroelectronics L...
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對講機作為一種即時的無線通訊設(shè)備,擁有著不受信號影響、更便捷的集群通訊、更持久的續(xù)航等優(yōu)勢,能夠幫助用戶進行團隊成員之間的快速、便捷溝通。近日,小米推出...
2025-02-25 標(biāo)簽:mems麥克風(fēng)陣列拆解 1008 0
高精度六軸MEMS運動跟蹤TM器件ICM-42688-P 數(shù)據(jù)表立即下載
類別:IC datasheet pdf 2024-08-12 標(biāo)簽:mems速度計
ADIS16470微型MEMS慣性測量單元(IMU)英文手冊立即下載
類別:IC datasheet pdf 2024-07-22 標(biāo)簽:memsIMU
ADI公司突破性的微機電系統(tǒng)(MEMS)開關(guān)技術(shù)立即下載
類別:電子資料 2023-11-27 標(biāo)簽:adimems微機電系統(tǒng)
敏芯股份榮獲2024年度電子元器件行業(yè)優(yōu)秀傳感器/MEMS芯片國產(chǎn)品牌企業(yè)
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硅麥集成模塊化生產(chǎn)實現(xiàn)電子霧化設(shè)備自動化組裝和海外環(huán)保回收目標(biāo)
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江西MEMS壓力傳感器公司新力傳感獲3000萬元融資,漢威科技是大股東
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型號 | 描述 | 數(shù)據(jù)手冊 | 參考價格 |
---|---|---|---|
MSM321A3729H9BP | 模擬輸出MEMS麥克風(fēng) MIC_3.76X2.95MM_SM |
獲取價格
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MSM261DHP006 | MEMS硅麥 1.6~3.6V ±1dB |
獲取價格
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