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針對傳統SawyerTower電路測量薄膜電滯回線的不足，提出了電荷積分改進方案。并在改進SawyerTower電路基礎上，結合虛擬儀器測量思想，組建以LabVIEW 和NI 公司數據采集卡為核心的軟硬件平臺測量系統，并結合Matlab 對采集數據進行分析處理，實現薄膜本征電滯回線的精確測量。經實驗驗證本測試系統可以快速準確完成薄膜電滯回線測量。
鐵電學是一門多學科交叉的學科，它涉及物理學、化學、機械、電子工程和信息科學等眾多學科領域[1]， 鐵電薄膜材料具有優良的特性，使其在微電子學、光電子學、集成光學和微機械學等領域有著重要的或潛在的應用，特別是可與半導體Si 集成電路兼容等特點而得到廣泛地研究[2]。鐵電材料具有自發極化，自發極化方向可以被外加電場反轉，當外加電場為零
時，材料中仍存在剩余極化，而形成電滯回線[3]。電滯回線為是否為鐵電體的重要判據，電滯回線參數也是薄膜性質的重要反映。
國內有學者[4]提出，薄膜電滯回線測量應充分考慮到線性電容和漏導的影響，并Sawyertower
電路進行了測量分析，針對傳統SawyerTower電滯回線測量電路，反饋電壓與激勵電壓分壓的不足這一實際問題，本文提出了改進意見，并結合計算機強大的功能，設計了基于虛擬儀器的測量系統。
鐵電學是一門多學科交叉的學科，它涉及物理學、化學、機械、電子工程和信息科學等眾多學科領域[1]， 鐵電薄膜材料具有優良的特性，使其在微電子學、光電子學、集成光學和微機械學等領域有著重要的或潛在的應用，特別是可與半導體Si 集成電路兼容等特點而得到廣泛地研究[2]。鐵電材料具有自發極化，自發極化方向可以被外加電場反轉，當外加電場為零
時，材料中仍存在剩余極化，而形成電滯回線[3]。電滯回線為是否為鐵電體的重要判據，電滯回線參數也是薄膜性質的重要反映。
國內有學者[4]提出，薄膜電滯回線測量應充分考慮到線性電容和漏導的影響，并Sawyertower
電路進行了測量分析，針對傳統SawyerTower電滯回線測量電路，反饋電壓與激勵電壓分壓的不足這一實際問題，本文提出了改進意見，并結合計算機強大的功能，設計了基于虛擬儀器的測量系統。
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