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電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>傳感器技術論文>電容式加速度傳感器結構的計算機仿真

電容式加速度傳感器結構的計算機仿真

2009-07-18 | rar | 899 | 次下載 | 3積分

資料介紹

針對硅梁論述了微機電容式加速度傳感器工作原理,應用有限元分析方法對三種不
同的硅梁結構對加速度計進行結構建模,并模擬分析了三種不同的梁的加速度計結構的第一和第二模態,$% 加速度下的撓度,以及存在預應力情況下結構的第一、第二模態響應頻率,得到了最優的雙梁結構,并在試驗中得到驗證,最終研制出了高水平的電容式加速度傳感器。
關鍵詞:加速度傳感器;有限元;計算機仿真;微機械
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