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電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>傳感器技術(shù)論文>一種硅微振動角速度傳感器

一種硅微振動角速度傳感器

2009-07-17 | rar | 413 | 次下載 | 2積分

資料介紹

介紹了一種靜電驅(qū)動、電容檢測單自由度硅微振動角速度傳感器實(shí)驗(yàn)樣機(jī)的結(jié)構(gòu)、工作原理、加工方法、驅(qū)動方法、檢測方法和實(shí)驗(yàn)結(jié)果。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,該角速度傳感器實(shí)驗(yàn)樣機(jī)已具有一定的性能, 其靈敏度為! 0- ’12 3 ) 4·5 % " * / 量程為! 6 (##4 3 5/ 線性度! "7。
關(guān)鍵詞! 角速度傳感器/ 靜電驅(qū)動/ 電容檢測
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