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電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>傳感器技術論文>基于In2O3膜HSGFET型功函數O3傳感器的研究

基于In2O3膜HSGFET型功函數O3傳感器的研究

2009-07-10 | rar | 255 | 次下載 | 3積分

資料介紹

本文以In2O 3 及其混合物為敏感材料, 采用懸浮柵結構和功函數方法, 研究出可在室溫下工作的HSGFET型功函數O 3 傳感器, 并給出傳感器對O 3 響應曲線以及實驗結果的理論分析等.
關鍵詞: In2O 3 膜; HSGFET 型; 功函數; O 3 傳感器
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