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使用有限元方法,分析了壓力傳感器力敏電阻條工作時的自身發熱對傳感器零點輸出的影響,結果表明:由于電阻工作時的發熱引起傳感器溫度分布的不均勻,即便組成壓力傳感器電橋的力敏電阻條參數完全匹配,傳感器也可能存在零點輸出。
關鍵詞: 壓力傳感器;壓阻效應;零點輸出;硅
Abstract : Using FEM (finite element method) ,the influence of the heat generated by the working piezoresistor of a pressure sen2 sor to the zero point output of the sensor is analyzed ,and the result shows :because of the uneven temperature distribution caused by
the heat of piezoresistor’s work ,there is a offset of the output of the bridge even though the electronic parameters of the bridge’s resisters are fully matched to each other.
Key words : pressure sensor ;piezoresistivity ;zero point output ;silicon
關鍵詞: 壓力傳感器;壓阻效應;零點輸出;硅
Abstract : Using FEM (finite element method) ,the influence of the heat generated by the working piezoresistor of a pressure sen2 sor to the zero point output of the sensor is analyzed ,and the result shows :because of the uneven temperature distribution caused by
the heat of piezoresistor’s work ,there is a offset of the output of the bridge even though the electronic parameters of the bridge’s resisters are fully matched to each other.
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