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微電子機(jī)械系統(tǒng)(M EM S)中的鐵電器件

2009-07-01 | rar | 177 | 次下載 | 5積分

資料介紹

提出了一種將鐵電材料與M EM S 集成的新趨勢(shì), 并介紹了幾種在這種趨勢(shì)下應(yīng)運(yùn)而生的最新的微傳感器和微執(zhí)行器。
關(guān)鍵詞 M EM S 鐵電材料 微傳感器 微執(zhí)行器
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