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摘要: 針對傳統結構超結 IGBT 器件在大電流應用時的電導調制效應較弱，削弱了 IGBT 器 件低飽和導通壓降優點的問題，設計了 p 柱浮空的超結 IGBT 器件 ( FP-SJ-IGBT) 。采用深槽刻 蝕和回填工藝制備了 p 柱和 p 體區分離的超結 IGBT 器件。測試結果表明，該器件擊穿電壓高于 660 V，在導通電流 20 A 時，其飽和導通壓降為 1. 7 V，相比于傳統超結 IGBT 器件更低，關斷 能量為 0. 23 mJ，遠低于傳統超結 IGBT 器件的 3. 3 mJ，較低的導通壓降和關斷能量使得 FP-SJIGBT 器件的電流密度可達 449 A/cm2 。此外，在 400 V 直流母線電壓下，FP-SJ-IGBT 器件具有 不低于 10 μs 的短路時間。
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