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為了設計一款300 V IGBT,從理論分析了IGBT各工藝參數與器件主要性能之間的關系.并利用Tsuprem4和Medici軟件,重點研究了器件工藝參數對器件擊穿電 壓、閾值電壓的影響,同時分析了IGBT器件的開關特性及其影響因素,最終得到了兼容CMOS工藝的300 V IGBT的最佳結構、工藝參數.通過計算機模擬得知,該器件的關態和開態的擊穿電壓都達到了要求,閾值電壓為2 V,而且兼容目前國內的CMOS工藝,可以很好地應用于各種高壓功率集成電路.
為了設計一款300 V IGBT,從理論分析了IGBT各工藝參數與器件主要性能之間的關系.并利用Tsuprem4和Medici軟件,重點研究了器件工藝參數對器件擊穿電 壓、閾值電壓的影響,同時分析了IGBT器件的開關特性及其影響因素,最終得到了兼容CMOS工藝的300 V IGBT的最佳結構、工藝參數.通過計算機模擬得知,該器件的關態和開態的擊穿電壓都達到了要求,閾值電壓為2 V,而且兼容目前國內的CMOS工藝,可以很好地應用于各種高壓功率集成電路.
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