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微機(jī)電系統(tǒng)的發(fā)展與應(yīng)用

2009-11-23 | rar | 223 | 次下載 | 3積分

資料介紹

微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)是當(dāng)前一個(gè)發(fā)展極為迅速并涉及多個(gè)學(xué)科的領(lǐng)域。本文主要介紹了微機(jī)電系統(tǒng)的產(chǎn)生與發(fā)展過程,討論了它所采用的材料和加工技術(shù)、該技術(shù)涉及的
各個(gè)學(xué)科,著重闡述了器件的具體分類、結(jié)構(gòu)組成、各類器件的具體特點(diǎn)及其在工程技術(shù)中的實(shí)際應(yīng)用,并指出其發(fā)展趨勢及對諸多領(lǐng)域的深遠(yuǎn)影響。
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