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電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>半導體技術論文>基于SiO2薄膜的915nm半導體激光器的無雜質空位誘導量子阱混合研究

基于SiO2薄膜的915nm半導體激光器的無雜質空位誘導量子阱混合研究

2018-02-10 | rar | 1.19 MB | 次下載 | 3積分

資料介紹

  為了提高915 nm半導體激光器腔面抗光學災變的能力,采用基于Si0:薄膜無雜質誘導量子阱混合法制備符合915 nm半導體激光器AIGaInAs單量子阱的非吸收窗口.研究了無雜質空位誘導量子阱混合理論及不同退火溫度、不同退火時間、SiO2薄膜厚度、SiO2薄膜折射率、不同蓋片等試驗參數對制備非吸窗口的影響,并且討論了Si0,薄膜介質膜的多孔性對無雜質誘導量子阱混合的影響.實驗制備出藍移波長為53 nm的非吸收窗口,最佳制備非吸收窗口條件為退火溫度為875℃,退火時間為90s,SiO2薄膜折射率為1.447,厚度為200 nm,使用GaAs蓋片.
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