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電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>半導體技術論文>直徑12英寸硅單晶拋光片

直徑12英寸硅單晶拋光片

2009-12-21 | rar | 444 | 次下載 | 5積分

資料介紹

公司立足自主創新,攻克了12 英寸硅單晶生長的熱場設計和安全、雜質和缺陷的控制、
硅片幾何參數的精密控制、表面金屬和顆粒的去除等關鍵技術難題,形成了從單晶生長到晶片加工、處理和檢測的自有成套技術,并利用該套技術開發成功直徑12 英寸硅單晶拋光片新產品,填補了國內空白。產品關鍵參數達到了國際先進水平,可滿足0.13-0.10 微米線寬的先進集成電路制造技術要求,并建成了我國第一條月產1 萬片直徑12 英寸硅單晶拋光片中試生產線。
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