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      電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>半導體技術論文>半導體業用高效精密磨具的國產化進程

      半導體業用高效精密磨具的國產化進程

      2009-12-19 | rar | 444 | 次下載 | 2積分

      資料介紹

      半導體業用高效精密磨具的國產化進程
      劉明耀 1 , 2 陳峰 1 , 2 邱麗花 1 , 2
      （1、鄭州磨料磨具磨削研究所 2、國家超硬材料及制品工程技術研究中心河南 鄭州 450013）
      摘 要 本文介紹了“十五”以來半導體行業高效精密加工用金剛石磨具以及相關配套產品的國產化情況，包括產品品種、型號規格、應用實例等。
      關鍵詞 半導體；集成電路；分立器件；砂輪；超薄；減薄；吸盤；修整板
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