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臥式熱壁型PECVD 設備
北京七星華創電子股份有限公司微電子設備分公司
1、簡介
我公司研制的臥式PECVD 設備專門應用于太陽能電池制造領域中氮化硅薄膜的淀積工
藝。由于PECVD 淀積氮化硅膜時,在生長氮化硅膜作為減反射膜的同時生成了大量的原子
氫，這些氫原子不但具有表面鈍化作用，同時可以很好的鈍化硅中的位錯、表面懸掛鍵，從而提高硅片中載流子遷移率,具有體鈍化的作用。可以極大的提高太陽能電池片的轉換效率。是太陽能電池生產線上最關鍵的設備之一。
我公司生產的PECVD 由爐體機柜、電氣控制系統、氣路系統、真空系統、壓力控制系統
和RF 電源等組成。采用工作站對工藝時間、溫度、氣體流量、閥門動作，以及工作壓力等進行實行全自動控制；工藝穩定，可靠性高，所淀積的氮化硅膜各項數據都符合太陽能電池制程的要求，達到了國際同類產品水平。
北京七星華創電子股份有限公司微電子設備分公司
1、簡介
我公司研制的臥式PECVD 設備專門應用于太陽能電池制造領域中氮化硅薄膜的淀積工
藝。由于PECVD 淀積氮化硅膜時,在生長氮化硅膜作為減反射膜的同時生成了大量的原子
氫，這些氫原子不但具有表面鈍化作用，同時可以很好的鈍化硅中的位錯、表面懸掛鍵，從而提高硅片中載流子遷移率,具有體鈍化的作用。可以極大的提高太陽能電池片的轉換效率。是太陽能電池生產線上最關鍵的設備之一。
我公司生產的PECVD 由爐體機柜、電氣控制系統、氣路系統、真空系統、壓力控制系統
和RF 電源等組成。采用工作站對工藝時間、溫度、氣體流量、閥門動作，以及工作壓力等進行實行全自動控制；工藝穩定，可靠性高，所淀積的氮化硅膜各項數據都符合太陽能電池制程的要求，達到了國際同類產品水平。
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