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摘要:提出了基于ZnO壓電薄膜多層結(jié)構(gòu)的2. 4GHz射頻薄膜體聲波諧振器,并進(jìn)行了研究。采用
修正后的Mason等效電路模型對(duì)器件的諧振特性進(jìn)行了分析和模擬。給出了采用MEMS工藝制
備器件的工藝流程,并利用射頻網(wǎng)絡(luò)分析儀對(duì)實(shí)驗(yàn)器件進(jìn)行了測(cè)試。利用多點(diǎn)數(shù)值擬合的方法消
除射頻測(cè)試中引入的寄生分布參數(shù),提取出器件的實(shí)際參數(shù):器件的串聯(lián)諧振頻率fs 和并聯(lián)諧振
頻率fp 分別為2. 3714GHz和2. 3772GHz,相應(yīng)的有效機(jī)電耦合系數(shù)為0. 598%;串聯(lián)諧振頻率處和
并聯(lián)諧振頻率處的Q值分別為500. 3和425. 5, f·Q值乘積達(dá)到1. 2 ×1012。該諧振器器件的有效
直徑為200μm,樣品實(shí)際尺寸為1. 2mm ×1. 2mm ×0. 3mm,可用來(lái)制備體積小、高性能和低相噪的
射頻振蕩器。
關(guān)鍵詞:薄膜體聲波諧振器;振蕩器;濾波器;雙工器;射頻微機(jī)電系統(tǒng)
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