Sentaurus是什么?半導(dǎo)體工藝及器件仿真工具Sentaurus TCAD教程概述
資料介紹
Sentaurus TCAD全面繼承了Tsuprem4,Medici和ISE TCAD的特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì),它可以用來(lái)模擬集成器件的工藝制程,器件物理特性和互連線特性等。
Sentaurus TCAD提供全面的產(chǎn)品套件,其中包括Sentaurus Workbench, Ligament, Sentaurus Process, Sentaurus Structure Editor, Mesh Noffset3D, Sentaurus Device, Tecplot SV,Inspect, Advanced Calibration等等。
Sentaurus Process和Sentaurus Device可以支持的仿真器件類型非常廣泛,包括CMOS,功率器件,存儲(chǔ)器,圖像傳感器,太陽(yáng)能電池,和模擬/射頻器件。
Sentaurus TCAD還提供互連建模和參數(shù)提取工具,為 優(yōu)化芯片性能提供關(guān)鍵的寄生參數(shù)信息。
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