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MEMS（微機電系統）技術的不斷發展，目前已經廣泛應用在生物、航空、醫學、航天等多領域。MEMS傳感器即微機電系統 （Micro-electroMechanicalSystems），是指精密機械系統和微電子電路技術結合發展出來的一項工程技術，它的尺寸一般在微米量級。
MEMS傳感器想要成功主要看封裝技術，包括SIP（系統級封裝）、WLP（晶圓級封裝）、三維硅穿孔（TSV）等技術，采用三 維堆疊技術，能夠把微型化后的傳感器機械部件和其他微電子組件集成，依據不同的應用來選擇不同的封裝形式。 對于大部分的MEMS傳感器來說，想讓它正常使用和發揮功效，就要通過內部可動微結構在適當范圍內進行變形和位移來實 現，所以對MEMS進行模態測試就要讓其振動，也就是需要進行激勵。
MEMS傳感器想要成功主要看封裝技術，包括SIP（系統級封裝）、WLP（晶圓級封裝）、三維硅穿孔（TSV）等技術，采用三 維堆疊技術，能夠把微型化后的傳感器機械部件和其他微電子組件集成，依據不同的應用來選擇不同的封裝形式。 對于大部分的MEMS傳感器來說，想讓它正常使用和發揮功效，就要通過內部可動微結構在適當范圍內進行變形和位移來實 現，所以對MEMS進行模態測試就要讓其振動，也就是需要進行激勵。
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