最近幾年，使用了MEMS技術的半導體產品的需求及用途大幅增加。MEMS是Micro Electro Mechanical Systems的縮寫，硅電路板上由電路和機械可活動結構的三維構成。使用此結構可實現將壓力、溫度、加速度這些物理量轉換成電氣信號的傳感器，還可實現提供電氣信號使可動結構體像機械一樣運動的所謂執行器功能。 MEMS產品早在1980年就已經存在了，與使用了CMOS工藝的一般半導體相比，因為晶圓制成非常復雜，包裝也很耗功夫，使得工程標準化和低成本變得十分困難，所以只應用于限定用途。但是，最近確定了批量生產小型、高性能的MEMS產品的技術，除了汽車發動機控制、醫療器械、噴墨打印機這些常用用途，數碼相機和智能手機這寫隨身攜帶的電子產品里也使用了很多的MEMS產品。MEMS產品今后將持續每年10-15%的增長率，并可預測在2017年的時候將從現在的9200億日元增長到 17000億日元。（Yole Development公司預測）株式會社村田制作所在2012年1月份收購了芬蘭的MEMS專業生產商VTI，VTI改名為Murata Electronics Oy，成為了村田的一員。Murata Electronics Oy運用了獨特的3D-MEMS（三維MEMS）技術向市場提供了高性能以及高可靠性的MEMS傳感器。

　　所有東西的運動都是X、Y、Z軸平行的運動和圍繞軸的旋轉運動，共表現為6個運動組合。村田制作所制作了平行運動（平移加速度）傳感的加速度傳感器、旋轉運動（角速度）傳感的陀螺儀產品系列，應用于依賴高精度運動傳感和高可靠性的特征的汽車、輪船的姿態控制、產業用裝置的傾斜測定、醫療用途等等。此次特輯將介紹生產具有高精度、高可靠性的傳感器的獨特技術的3D-MEMS和同時兼具高精度和高可靠性的加速度傳感器以及陀螺儀的特征。