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電子發燒友網>電子資料下載>電子元器件應用>薄膜材料成分分析方法

薄膜材料成分分析方法

2011-01-10 | rar | 143 | 次下載 | 10積分

資料介紹

  到目前為止,對薄膜結構和成分分析的研究方法已達一百多種。但它們具有共同的特征:利用一種探測束——如電子束、離子束、光子束、中性粒子束等,從樣品中發射或散射粒子波,他們可以是電子、離子、中性粒子、光子或聲波,檢測這些粒子的能量、動量、荷質比、束流強度等特性,或波的頻率、方向、強度、偏振等情況,來分析材料化學組成、原子結構、原子狀態、電子狀態等方面的信息

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