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液晶顯示器制造工藝流程基礎技術
一．工藝流程簡述：
前段工位：
ITO 玻璃的投入（grading） 玻璃清洗與干燥（CLEANING）
涂光刻膠（PR COAT） 前烘烤（PREBREAK）
曝光（DEVELOP） 顯影（MAIN CURE）
蝕刻（ETCHING） 去膜（STRIP CLEAN） 圖檢（INSP）
清洗干燥（CLEAN） TOP 涂布（TOP COAT）
UV 烘烤（UV CURE） 固化（MAIN CURE）
清洗（CLEAN） 涂取向劑（PI PRINT）
固化（MAIN CURE） 清洗（CLEAN）
絲網印刷（SEAL/SHORT PRINTING） 烘烤（CUPING
FURNACE） 噴襯墊料（SPACER SPRAY） 對位壓合
（ASSEMBLY） 固化（SEAL MAIN CURING）
1． ITO 圖形的蝕刻：（ITO 玻璃的投入到圖檢完成）
A． ITO 玻璃的投入：根據產品的要求，選擇合適的ITO 玻璃裝
入傳遞籃具中，要求ITO 玻璃的規格型號符合產品要求，
切記ITO 層面一定要向上插入籃具中。
B． 玻璃的清洗與干燥： 將用清洗劑以及去離子水（DI 水）等
洗凈ITO 玻璃，并用物理或者化學的方法將ITO 表面的雜
質和油污洗凈，然后把水除去并干燥，保證下道工藝的加工
質量。
C． 涂光刻膠： 在ITO 玻璃的導電層面上均勻涂上一層光刻膠，
涂過光刻膠的玻璃要在一定的溫度下作預處理：（如下圖）
一．工藝流程簡述：
前段工位：
ITO 玻璃的投入（grading） 玻璃清洗與干燥（CLEANING）
涂光刻膠（PR COAT） 前烘烤（PREBREAK）
曝光（DEVELOP） 顯影（MAIN CURE）
蝕刻（ETCHING） 去膜（STRIP CLEAN） 圖檢（INSP）
清洗干燥（CLEAN） TOP 涂布（TOP COAT）
UV 烘烤（UV CURE） 固化（MAIN CURE）
清洗（CLEAN） 涂取向劑（PI PRINT）
固化（MAIN CURE） 清洗（CLEAN）
絲網印刷（SEAL/SHORT PRINTING） 烘烤（CUPING
FURNACE） 噴襯墊料（SPACER SPRAY） 對位壓合
（ASSEMBLY） 固化（SEAL MAIN CURING）
1． ITO 圖形的蝕刻：（ITO 玻璃的投入到圖檢完成）
A． ITO 玻璃的投入：根據產品的要求，選擇合適的ITO 玻璃裝
入傳遞籃具中，要求ITO 玻璃的規格型號符合產品要求，
切記ITO 層面一定要向上插入籃具中。
B． 玻璃的清洗與干燥： 將用清洗劑以及去離子水（DI 水）等
洗凈ITO 玻璃，并用物理或者化學的方法將ITO 表面的雜
質和油污洗凈，然后把水除去并干燥，保證下道工藝的加工
質量。
C． 涂光刻膠： 在ITO 玻璃的導電層面上均勻涂上一層光刻膠，
涂過光刻膠的玻璃要在一定的溫度下作預處理：（如下圖）
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