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電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電源技術(shù)>基于磷擴散薄層電阻提升方法

基于磷擴散薄層電阻提升方法

2017-11-09 | rar | 1.29 MB | 次下載 | 免費

資料介紹

  針對光伏工業(yè)界對磷擴散薄層電阻不斷提升的需求,采用了在磷擴散工藝氣氛中增加水汽的方法進行磷源擴散制備高薄層電阻,并通過實驗對比兩種擴散氣氛下的摻雜濃度,少子壽命等袁征。實驗結(jié)果表明:在相同薄層電阻條件下,水汽氣氛下?lián)诫s劑的表面濃度降低,耗盡層的復合率減小,間隙態(tài)的金屬雜質(zhì)濃度降低,硅基體的少子壽命從6.27Vs提升至7.16pdS。由于摻雜劑濃度分布得到改善,降低了硅片的表面復合率和結(jié)區(qū)光生載流子的俄歇復合,使得水汽氣氛擴散后硅片制備的太陽電池,光電轉(zhuǎn)換效率提升0.1%。
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