非晶硅薄膜太陽能電池及制造工藝 內容提綱 一、非晶硅薄膜太陽能電池結構、制造技術簡介 二、非晶硅太陽能電池制造工藝 三、非晶硅電池封裝工藝 一、 非晶硅薄膜太陽能電池結構、制造技術簡介 1、電池結構 分為：單結、雙結、三結 2、制造技術 三種類型： ①單室，多片玻璃襯底制造技術 該技術主要以美國 Chronar、APS、EPV 公司為代表 ②多室，雙片（或多片）玻璃襯底制造技 該技術主要以日本 KANEKA 公司為代表 ③卷繞柔性襯底制造技術（襯底：不銹鋼、聚酰亞胺） 該技術主要以美國 Uni-Solar 公司為代表 所謂“單室，多片玻璃襯底制造技術”就是指在一個真空室內，完成 P、I、N 三層非晶硅的沉積方法。作為工業生產的設備，重點考慮生產效率問題，因此，工業生產用的“單室，多片玻璃襯底制造技術”的非晶硅沉積，其配置可以由 X 個真空室組成（X 為≥1 的正整數），每個真空室可以放 Y 個沉積夾具（Y 為≥1 的正整數），例如： ?1986 年哈爾濱哈克公司、1988 年深圳宇康公司從美國 Chronar 公司引進的內聯式非晶硅太陽能電池生產線中非晶硅沉積用 6 個真空室，每個真空室裝 1 個分立夾具，每 1 個分立夾具裝 4 片基片，即生產線一批次沉積 6×1×4=24 片基片，每片基片面積 305mm×915mm。 ?1990 年美國 APS 公司生產線非晶硅沉積用 1 個真空室，該沉積室可裝 1 個集成夾具，該集成夾具可裝 48 片基片，即生產線一批次沉積 1×48=48 片基片，每片基片面積 760mm ×1520mm。 ?本世紀初我國天津津能公司、泰國曼谷太陽公司（BangKok Solar Corp）、泰國光伏公司 （Thai Photovoltaic Ltd）、分別引進美國 EPV 技術生產線，非晶硅沉積也是 1 個真空室，真空室可裝 1 個集成夾具，集成夾具可裝 48 片基片，即生產線一批次沉積 1×48=48 片基片，每片基片面積 635mm×1250mm。

　　圖 1、內聯式單結非晶硅電池內部結構示意圖