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電子發燒友網>電子資料下載>電源技術>微型ICP激發源微電路組件的參數設計

微型ICP激發源微電路組件的參數設計

2010-07-30 | rar | 203 | 次下載 | 3積分

資料介紹

本文簡要介紹了一種采用微結構平面螺旋線圈的新的ICP(電感耦合等離子體)光譜激發源。作者設計加工出的基于PCB(印刷電路板)鍍金工藝的微型ICP激發源在13.56MHz下成功啟燃,并給出了ICP火炬照片。詳細介紹了作者研制的微型ICP激發源的平面螺旋電感和交指電容參數設計方法,給出了設計版圖和實物照片,微結構線條寬度和間隙在數百微米量級。展望了平面螺旋電感和交指電容在微型ICP激發源的中的應用前景。
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