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半導(dǎo)體微加工技術(shù):２、半導(dǎo)體VLSI工藝流程概述
３、半導(dǎo)體各工藝簡(jiǎn)介
集成電路的劃分及發(fā)展:
VLSI = Very Large Scale Integration
小規(guī)模SSI ~100個(gè)晶體管
中規(guī)模MSI 100-1000個(gè)晶體管
大規(guī)模LSI 1000-100000個(gè)晶體管
超大規(guī)模VLSI >100000個(gè)晶體管(64K)
集成電路（Integrated Circuit – IC）是指通過(guò)一系列特定的加工工藝，將多個(gè)晶體管、二極管等有源器件和電阻、電容等無(wú)源器件，按一定的電路連接集成在一塊半導(dǎo)體單晶片或其他基底片上，作為一個(gè)不可分割的整體執(zhí)行某一特定功能的電路組件。
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