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電子發燒友網>電子資料下載>工控技術>向65nm工藝提升中的半導體清洗技術

向65nm工藝提升中的半導體清洗技術

2021-04-12 | rar | 0.19 MB | 次下載 | 免費

資料介紹

  由于器件尺寸由90mm技術節點向 65mm節點的縮進,在前道工藝的濕法清洗中去除0.1um及更小尺寸的污染粒子正在成為一種新的技術挑戰。評價了在向65mm技術節點的邁進中,器件的新結構、新材料對于清洗設備提出的各種技術挑戰及應對無損傷和抑制腐蝕損傷的清洗技術。指出了單片式清洗技術的應用前景及干法清洗與濕法清洗技術共存的可能性。

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