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電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>工控技術(shù)>微尺度下空氣靜壓支撐在滑移區(qū)的承載性

微尺度下空氣靜壓支撐在滑移區(qū)的承載性

2018-03-15 | rar | 0.80 MB | 次下載 | 1積分

資料介紹

  為了闡釋空氣靜壓導(dǎo)軌氣膜間隙處在微小尺度所體現(xiàn)的特性,引入努森數(shù)( Kn),計(jì)算了不同工況下氣膜內(nèi)壓力和不同氣膜厚度下Kn數(shù)的變化關(guān)系。引入支撐區(qū)氣膜分層假設(shè),與分子動(dòng)力學(xué)相結(jié)合,對(duì)氣膜內(nèi)不同流態(tài)層的剛度進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)和分析。通過ANSYS仿真和實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)相結(jié)合得出了結(jié)論:氣膜內(nèi)稀薄效應(yīng)的增強(qiáng),可以一定程度上提高氣浮支撐的靜承載能力。氣浮支撐的剛度特性和氣膜內(nèi)部分層情況有關(guān):以分子碰撞運(yùn)動(dòng)為主的稀薄層主要起容性效應(yīng),實(shí)現(xiàn)分子間動(dòng)量的傳遞和轉(zhuǎn)化,因此該層所體現(xiàn)出來的剛度較差;以慣性力驅(qū)動(dòng)的連續(xù)流層內(nèi)部分子運(yùn)動(dòng)比較穩(wěn)定,特別是在垂直方向不存在顯著的動(dòng)能和壓力能之間的轉(zhuǎn)化,因此該層的剛度特性較強(qiáng)。實(shí)驗(yàn)證明,氣膜厚度在1 - 10 um時(shí),氣膜的剛度先增大后減小,也間接論證了靜壓支撐的剛度特性主要由氣膜內(nèi)連續(xù)流層決定。

微尺度下空氣靜壓支撐在滑移區(qū)的承載性

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