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超聲波電動機是利用壓電材料的逆壓電效應(yīng)激發(fā)定子彈性體產(chǎn)生超聲頻域的振動，并通過摩擦接觸驅(qū)動與之耦合的動子做旋轉(zhuǎn)或直線運動。超聲波電動機具有結(jié)構(gòu)簡單、低速大力矩、響應(yīng)速度快、斷電自鎖、無噪聲和不受電磁干擾等優(yōu)點，廣泛用于精密器械、航空航天、醫(yī)療儀器、工業(yè)自動化和機器人等高新技術(shù)領(lǐng)域。
超聲波電動機按運動方式可分為旋轉(zhuǎn)型和直線型。直線超聲波電動機具有結(jié)構(gòu)設(shè)計靈活、體積小、運動精度高和良好的控制特性，在微機電系統(tǒng)中具有廣泛的應(yīng)用前景。 本文采用三個壓電雙晶懸臂梁結(jié)構(gòu)代替三個壓電疊堆，研制了一種利用PZT d3．模式工作的T型直線超聲波電動機。每個壓電雙晶懸臂梁由兩片極化方向相反、工作模式為d31的陶瓷片粘接在金屬懸臂梁基板上、下表面構(gòu)成。當(dāng)兩壓電陶瓷在極化方向（3軸）受激勵電壓作用時，同時在1軸方向產(chǎn)生相反的擴(kuò)張或收縮變形，在兩個反向變形的作用下，懸臂梁的彎曲振動被抑制，只存在沿1軸方向上的伸長或收縮變形。該電動機結(jié)構(gòu)簡單，制造方便，成本低廉。
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