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ATmega64是有極高靈活性的微控制器，其I/O 地址取代AVR指令集中保留的64個 I/O地 址。為保證與 ATmega103 兼容， ATmega64 芯片將 ATmega103 中的所有 I/O 地址的位 置保留。大部分附加 I/O 地址在從 0x60 到 0xFF 的擴展 I/O 空間中 ( 即，在 ATmega103 內部 RAM 空間 )。在這些地址只能使用 LD/LDS/LDD 與 ST/STS/STD 指令，而不能使用 IN與OUT指令。對ATmega103用戶而言，內部RAM空間的重新定位仍然是個問題；同時 若代碼使用絕對地址，則中斷向量數目的增加也是一個問題。通過對熔絲位 M103C 編程 選擇 ATmega103 兼容模式，可解決該問題。該模式下，不使用擴展 I/O 空間中的功能， 同樣，刪除擴展中斷向量。
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