科技的發(fā)展給人類帶來(lái)了很多好處，也給賦予人們更強(qiáng)的能力。如果說(shuō)機(jī)械替代了人類的體力，計(jì)算機(jī)替代了人類的腦力，那無(wú)處不在的傳感器就替代了人類的感知能力。自1883年全球第一個(gè)恒溫器上市為世界帶來(lái)了首個(gè)傳感器和傳感器技術(shù)，到如今傳感器技隨處可見(jiàn)

　　。傳感器技術(shù)作為現(xiàn)代信息技術(shù)的三大基礎(chǔ)技術(shù)之一在當(dāng)代科技中得到了大量的運(yùn)用和飛速的發(fā)展。

　　壓力傳感器能感受壓力信號(hào)并按一定規(guī)律將之轉(zhuǎn)化成電信號(hào)的裝置。壓力傳感器由壓敏元件和轉(zhuǎn)換電路構(gòu)成。根據(jù)工作原理不同，將壓力傳感器分為壓阻式壓力傳感器和電容式壓力傳感器。下面對(duì)兩類壓力傳感器做一個(gè)詳細(xì)介紹。

　　電容式壓力傳感器

　　電容式壓力傳感器的結(jié)構(gòu)采用板殼理論，電容由兩電極板組成，其中一塊極板固定，保持形狀不變；另一極板是一層薄片，可隨外部壓力改變而產(chǎn)生彈性形變。與另外兩端的兩個(gè)絕緣板一起構(gòu)成一個(gè)密閉氣室。原理圖如下

　　在不考慮邊緣電場(chǎng)效應(yīng)的情況下，該電容的容量表達(dá)式為

　　C=?0?rS/d

　　?0為真空中的介電常數(shù)

　　?r為介質(zhì)的相對(duì)介電常數(shù)

　　S為兩極板的相對(duì)面積

　　d為兩極板之間距離

　　由表達(dá)式可以看出想改變電容的容量可以通過(guò)改變介質(zhì)、極板相對(duì)面積和極距，而改變極距是最簡(jiǎn)便的方法。對(duì)于壓力傳感器而言改變極距最普遍的方法，它可以進(jìn)行動(dòng)態(tài)非接觸式測(cè)量，靈敏度高，被系統(tǒng)影響小的特點(diǎn)［1］。許多年來(lái)，人們對(duì)電容壓力傳感器的設(shè)計(jì)越來(lái)越成熟，從早期易折疊彎曲金屬薄片改進(jìn)為如今的有良好彈性剛性的單晶硅薄片。通過(guò)對(duì)原理的改良，結(jié)構(gòu)的改進(jìn)，使現(xiàn)在的傳感器發(fā)展越來(lái)越迅速，性能越來(lái)越高，實(shí)用性越來(lái)越好。